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6英寸快速退火爐RTP
6英寸快速退火爐RTP

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

6英寸快速退火爐RTP

品牌

量伙半導(dǎo)體

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
量伙半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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    其他
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6英寸快速退火爐RTP

LH-RTA-E特點(diǎn):E系列半自動(dòng)快速退火爐,,軟件控制取放片,適用于**6英寸(150mm*150mm)及以下尺寸硅片,、第二代,、第三代化合物材料等(包括但不限于,磷化銦,,砷化鎵,,碳化硅,氮化鎵等各類襯底和外延片),,擁有出色的熱源和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),。

設(shè)備主要規(guī)格(Features):

1.**6英寸 Wafer(單腔體**滿足150mm*150mm材料進(jìn)行加熱處理);2.冷卻方式包括水冷和氮?dú)獯祾?循環(huán)常溫水冷卻,軟件可視化監(jiān)控管理,,防止外壁過熱,,內(nèi)置氮?dú)夤苈罚祾咔惑w,,保持清潔,,極速降溫);

3.MFC控制,1-5路制程氣體,。(品牌MFC控制器,,內(nèi)置多路氣氛管路,可定制開通,,滿足各類測試工藝需求);4.退火溫度范圍 300℃-1000℃(常規(guī)硅基材料溫度適用于850℃,,第三代半導(dǎo)體材料**可到1350℃)5.升溫速率 ≤150℃/秒(升溫速度隨不同的材料及裝置會(huì)有差異,標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)是裸片放置內(nèi)測量后得出,,150攝氏度每秒是常規(guī)溫度速率,,加熱設(shè)備的極限會(huì)更高);


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