參考價(jià)格
面議型號(hào)
PECVD-III-500A-D210品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
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一,、設(shè)備組成
這是一款智能型PECVD系統(tǒng),。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件,、氣路系統(tǒng),、及自動(dòng)化控制軟件集成系統(tǒng)。
1,、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,，配K型熱電偶，6點(diǎn)控溫,；設(shè)備升降溫控制靈活,、加熱爐可電動(dòng)開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。
2,、氣路系統(tǒng)
可由質(zhì)量流量計(jì)精確控制多路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,，另外單獨(dú)1路過(guò)鼓泡器后進(jìn)入反應(yīng)管內(nèi)。
3,、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻,，可使整個(gè)反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4,、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制,，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能,。
二,、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制,，具有超溫和斷偶報(bào)警功能,，人機(jī)界面加PLC控制，15寸液晶屏控制,，數(shù)字工控儀表雙控,，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實(shí)現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設(shè)備重量 | 約600KG |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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