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1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)
1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

參考價格

面議

型號

BTF-1600C-CVD-D2

品牌

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    硅鉬棒
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    氮氣
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1600℃
  • 額定溫度:

    ≤1350℃
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一,、設(shè)備簡介

BTF-1600C-CVD-D2是一臺非標定制的多源高溫CVD系統(tǒng),。本設(shè)備按客戶要求加裝剛玉管一支,加熱爐,,循環(huán)泵,、排風(fēng)系統(tǒng)、機架等,。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表,其控溫精準且操作直觀簡便,。儀表采用國內(nèi)**品牌,,質(zhì)量精確可靠。爐管為剛玉管,,外徑¢60m,,長度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內(nèi),。左端法蘭為進氣端,,配有壓力保護組件和2個進氣口,其中一路由截止閥控制,,為進混氣,;另外一路為環(huán)硼氮烷,,通過電磁閥+單向閥控制,;右端法蘭為出氣端,配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成,,法蘭前端配有攪拌機構(gòu),,對于尾端沉積物料具有清理作用,同時配有過濾組件,。設(shè)備進氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作,,通過循環(huán)泵工作,以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實現(xiàn)低溫,、高溫下的切換,。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室,均通過PVC管道連接至腔室頂部,通過管道風(fēng)機與客戶排風(fēng)系統(tǒng)對接,。本設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式,。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白。設(shè)備簡約又不乏穩(wěn)重,,更具備操作直觀方便,、控溫精確等性能。


二,、技術(shù)參數(shù)

額定功率

6.5KW

額定電壓

 AC 220V 50/60Hz

**溫度

1600℃

使用溫度

≤1350℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min,;1400℃-1600℃≤5℃/min

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

加熱區(qū)長度

300mm

爐管尺寸

剛玉管Φ60×1000mm

熱電偶

B型熱電偶

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅鉬棒(6根)

爐體尺寸

1930*1450*1935mm

凈重

500Kg


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
評論內(nèi)容
暫無評論,!
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