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全自動單/雙面刷洗機品牌
蘇州辰軒產(chǎn)地
江蘇樣本
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| 設(shè)備概述
全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading,、晶圓機械手,、刷洗、甩干單元等單體組成,，通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉(zhuǎn)移到刷洗工位,，通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體,、純水刷洗,，清除晶片表面的微小粒子。
| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）,、氮化鎵（GaN）等半導(dǎo)體材料的刷洗,，同時可用于藍寶石、陶瓷,、水晶等材料,。
| 設(shè)備特點
? 晶圓機械手傳輸晶片過程精度高、穩(wěn)定性高,。
? 可兼容2,、4、6,、8寸晶片的刷洗,。
? 自動化操作無人工干預(yù)，避免二次污染,。
? 全封閉刷洗環(huán)境,，避免環(huán)境污染。
? 雙刷洗工位,，有效提高生產(chǎn)效率,。
? 實現(xiàn)干進干出的加工方式。
| 可選配置
? 兆聲波發(fā)生器
? 濕進干出裝置
? 翻轉(zhuǎn)裝置,，實現(xiàn)單面轉(zhuǎn)雙面刷洗
| 設(shè)備參數(shù)
型號 | CX-S6F | CX-S8F | |
上料工位 | 晶片尺寸 | 4,、6寸 | 6、8寸 |
數(shù)量 | 2 | 2 | |
感應(yīng)裝置 | 包含 | 包含 | |
傳輸系統(tǒng) | 傳輸方式 | 晶圓機械手 | 晶圓機械手 |
清洗,、甩干單元 | 數(shù)量 | 2 | 2 |
藥液噴灑裝置 | 3 | 3 | |
刷洗方式 | PVA毛刷 | PVA毛刷 | |
固定方式 | 卡爪/真空吸附 | 卡爪/真空吸附 | |
甩干方式 | 高速旋轉(zhuǎn) | 高速旋轉(zhuǎn) | |
下料工位 | 數(shù)量 | 2 | 2 |
感應(yīng)裝置 | 包含 | 包含 | |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng) | PLC | PLC |
顯示 | 10.4寸彩色觸摸屏 | 10.4寸彩色觸摸屏 | |
廠務(wù) | 電源 | AC220V 50Hz | AC220V 50Hz |
尺寸 | W1230mm * L1850mm * H2050mm | W1230mm * L1850mm * H2050mm | |
重量 | 約700Kg | 約700Kg | |
暫無數(shù)據(jù),！
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