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設(shè)備概述
人工手動將產(chǎn)品放置在承片工作臺上，通過承片工作臺和砂輪軸的相對旋轉(zhuǎn),，同時砂輪軸向下進給,，對承片工作臺上的產(chǎn)品進行磨削加工，加工過程中使用在線厚度測量,，控制產(chǎn)品厚度直至達到設(shè)定的目標厚度,。
| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）,、氮化鎵（GaN）,、鍺（Ge）、砷化鎵（GaAs）,、磷化銦（InP）等半導(dǎo)體材料的快速薄化,，同時可用于藍寶石、陶瓷,、水晶,，以及棱鏡等光學(xué)產(chǎn)品的加工。
| 設(shè)備特點
? 金剛石砂輪電主軸,、砂輪升降系統(tǒng)
金剛石砂輪驅(qū)動采用高速,、高精度電主軸，實現(xiàn)產(chǎn)品加工,，并減少產(chǎn)品的破損率,，達到理想的TTV。
砂輪升降系統(tǒng)由伺服電機,、諧波減速機與絲桿滑軌控制,，使砂輪精確移動到加工設(shè)定位置。
? 晶片測量系統(tǒng)
通過設(shè)定初始厚度以及加工程序,，使減薄加工逐步運行,，達到精確的加工厚度。
采用意大利進口測厚系統(tǒng),，實現(xiàn)實時監(jiān)測產(chǎn)品厚度,。
? 旋轉(zhuǎn)工作臺系統(tǒng)
高精密真空陶瓷吸盤載臺,。
X向自動進出料工作臺移動裝置。
? 自動冷卻液供給系統(tǒng)
加工過程中自動供給冷卻液,，將加工過程中砂輪和產(chǎn)品之間由于高速磨削產(chǎn)生的熱量迅速帶走,。
| 可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 單片/多片加工方式
? 接觸式/非接觸式厚度測量
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