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面議型號
全自動單軸減薄機品牌
蘇州辰軒產(chǎn)地
江蘇樣本
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設備概述
全自動單軸減薄機由機械手,、承片工作臺、清洗單元等單體組成,,通過承片工作臺和砂輪軸的旋轉(zhuǎn),,同時砂輪軸向下進給,對承片工作臺上的產(chǎn)品進行磨削加工,,加工過程中使用在線厚度測量,,控制產(chǎn)品厚度直至達到設定的目標厚度。
| 應用領域
應用于碳化硅(SiC),、硅(Si),、氮化鎵(GaN)、鍺(Ge),、砷化鎵(GaAs),、磷化銦(InP)等半導體材料的快速薄化,同時可用于藍寶石,、陶瓷,、水晶,以及棱鏡等光學產(chǎn)品的加工,。
| 設備特點
? 整體鑄造式鑄鐵機身,高剛性,,高穩(wěn)定性,。
? 兼容2、4,、6,、8寸不同尺寸晶片的加工。
? 采用高精度,、超強穩(wěn)定性電主軸,。
? 加工過程中實時在線厚度測量。
? 實現(xiàn)干進干出的加工方式,。
? SECM/GEM,、MES系統(tǒng)。
| 可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 單片/多片加工方式
? 接觸式/非接觸式厚度測量
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