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氮化鋁晶體生長(zhǎng)爐品牌
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設(shè)備概述
氮化鋁晶體生長(zhǎng)爐主要用于物理氣相傳輸法（PVT）生長(zhǎng)大尺寸,、高質(zhì)量AlN單晶。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
1,、建立溫場(chǎng)與AlN半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)的精準(zhǔn)關(guān)系,，揭示晶體結(jié)晶和動(dòng)力學(xué)過程，解決擴(kuò)徑難,、易開裂等生長(zhǎng)難點(diǎn)科學(xué)問題,。
2、優(yōu)化坩堝和溫場(chǎng)梯度結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),，實(shí)施動(dòng)態(tài)檢測(cè)晶體生長(zhǎng)過程和溫場(chǎng)邊界條件,，自主搭建國(guó)際上**大尺寸AlN單晶生長(zhǎng)爐。
3,、解析AlN晶體缺陷結(jié)構(gòu)和性能參數(shù)之間的關(guān)系,，建立高質(zhì)量、低缺陷AlN半導(dǎo)體單晶的退火工藝,，有力解決AlN晶體缺陷富集的難點(diǎn)問題,。
設(shè)備參數(shù)
| 反應(yīng)器尺寸 | 直徑500mm x 900mm | 電源頻率，HZ | 50±1 |
**操作溫度2600° C （氬氣中） | 相數(shù) | 3 | |
| 工作氣體 | 氬氣,，氮?dú)?/span> | 壓縮氣體,，Mpa | 0.6 |
| **真空值 Torr | 10-5 Torr | **功率,，kw | 50 |
| 電源功率 kw | 75kw | 晶體生長(zhǎng)天數(shù)，天 | 7 |
| 電源工作頻率 kHz | 15kHz | 氮?dú)庀牧?，m3/爐 | ≤6 |
| 自動(dòng)化參數(shù)控制系統(tǒng) | 電極接法 | △ | |
| 冷卻系統(tǒng) | 20kW冷卻裝置（閉合電路） | 設(shè)備外形尺寸（長(zhǎng)x寬x高）mm | 1920x920x2790 |
| 電源電壓,，V | 380±19 | **電流，A | 90 |
| 輸出電壓,，V | 500-550 |
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