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韓國樣本
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規(guī)格&應用:
-主室尺寸 215,230(dia),;ISO 100(旋轉法蘭,,渦輪泵)
-80mm樣本卡盤,均勻性好
低漏泄電流-10fa以下
陶瓷背部:用于背部偏置或隔離 MBG25,,MBG40
-真空范圍:1x10E 3 or 6 torr
-溫度范圍:77K~570K,,LN2(溫度選項:770K可用)
-260(10K)~300(570K),780K,,1000K.氦氣
-顯微鏡&CCD攝像機
-真空定位器支架
-真空泵及計量系統(tǒng)
-根據(jù)用戶需求.....(可定制)
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