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規(guī)格＆應(yīng)用：

-主室尺寸 215，230（dia）,；ISO 100（旋轉(zhuǎn)法蘭,，渦輪泵）

-80mm樣本卡盤，均勻性好

低漏泄電流-10fa以下

陶瓷背部：用于背部偏置或隔離 MBG25,，MBG40

-真空范圍：1x10E 3 or 6 torr

-溫度范圍：77K~570K,，LN2（溫度選項(xiàng)：770K可用）

-260(10K)~300(570K)，780K,，1000K.氦氣

-顯微鏡＆CCD攝像機(jī)

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-真空泵及計(jì)量系統(tǒng)

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