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本儀器由一測量頭和一轉(zhuǎn)向棱鏡組成,，用于圓柱形工件的非接觸測量三維表面輪廓和微觀結(jié)構(gòu)測量，適合在研究,，開發(fā)和生產(chǎn)中使用,。測量頭設(shè)計(jì)簡單精巧，可以提供**的長向和橫向分辨率,。它相對免維護(hù)和方便自動(dòng)測量的功能使其適合在生產(chǎn)過程使用,。適于在很短時(shí)間間隔內(nèi)高精度和定量測量表面粗糙度特征、氣孔,、劃傷,、涂層缺陷等，即可在孔內(nèi)部,，也可在小的圓柱工件外表面進(jìn)行,。有自動(dòng)瞄準(zhǔn)功能的測量頭安裝在一固定位置，而工件或偏光鏡移動(dòng)至與光學(xué)軸共線,。測量區(qū)的長度決定了工件或偏光鏡的驅(qū)動(dòng)長度,。這種運(yùn)動(dòng)是通過用一個(gè)單獨(dú)的提升臺實(shí)現(xiàn)的。所有部件包括測量頭,，提升臺和數(shù)據(jù)采集都是由電腦控制的，可以自動(dòng)進(jìn)行重復(fù)測量,。測量數(shù)據(jù)根據(jù)工件直徑修正后可以以笛卡兒和極坐標(biāo)顯示,，并以用戶選定的程序評估。

主要用途：

◆ 小的圓拄和襯套工件內(nèi)外表面三維輪廓測量

◆ 涂層質(zhì)量控制

◆ 探測識別孔的外表面

主要特點(diǎn)：

◆ 非接觸高精度測量

◆ 在生產(chǎn)現(xiàn)場和線上使用

◆ 相對免維護(hù)

◆ 適合產(chǎn)品研究開發(fā)的理想儀器

◆ 垂向（對被測物而言是徑向）分辨率可達(dá)1nm

◆ 橫向（對被測物而言是軸向）分辨率可達(dá)10µm

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊,、耐用

主要優(yōu)點(diǎn)

◆ 快速,，非接觸精密測量小孔和圓柱形工件的微觀結(jié)構(gòu)，粗糙度,，加工標(biāo)記,，缺陷，劃傷和圓柱形工件的外表面三維特征數(shù)據(jù)

◆ 笛卡兒坐標(biāo)或者極坐標(biāo)

◆ 測量和評估物體特定表面特征,，包括涂層和磨損

技術(shù)數(shù)據(jù)：