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德國BMT WLI VLA干涉儀
德國BMT WLI VLA干涉儀可快色準(zhǔn)確的測量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓,??捎糜跍y量平整度、波紋度,、扭曲,、臺階高度和多種其他表面特性。
產(chǎn)品特點(diǎn):
•粗糙和鏡面反射表面的微觀測量
•平整度和輪廓測量
•測量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響
•測量時間短,,數(shù)秒完成
•測量范圍大
•快速分析表面結(jié)構(gòu)
•非常小巧
•自動獲取數(shù)據(jù)并評估進(jìn)行
•可定制各種配置
•幾乎免維護(hù)
技術(shù)參數(shù):
•光源 LED
•測量范圍 (mm) 15
•垂直分辨率(nm) ≥1
•橫向分辨率(μm) 20-80
•測量面積 (mm) 10×10— 40×40
•工作距離 (mm) 24
•數(shù)碼相機(jī)<14位(Pixel) 1280×1024
暫無數(shù)據(jù),!