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MaxMile的無(wú)汞探測(cè)器可廣泛用于各種有電子特性的半導(dǎo)體樣品,。通過(guò)在材料中即時(shí)形成肖特基或mos器件來(lái)實(shí)現(xiàn)探測(cè)功能,,不需要耗時(shí)的金屬化工藝。相比傳統(tǒng)的汞探測(cè)器,,無(wú)汞探測(cè)器沒(méi)有汞累積中毒問(wèn)題,,并可實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的測(cè)量。
無(wú)汞探測(cè)器具有快速,、經(jīng)濟(jì),、無(wú)損于材料等特性,。它們是研發(fā)和生產(chǎn)的理想工具,如過(guò)程監(jiān)控,,質(zhì)量控制和快速反饋,。
接觸方式:?jiǎn)谓佑|、雙接觸,、混合接觸,;
接觸面積:0.8-2 mm,可定制,;
探頭控制:手動(dòng),、自動(dòng)和映射;
工作臺(tái)直徑:2"(50mm)-12"(300mm),。
接口:接口線長(zhǎng)度可任意定制,。
單接觸無(wú)汞電探針通過(guò)與材料基體接觸進(jìn)行測(cè)量,而雙接觸探針測(cè)量則通過(guò)接觸帶有半絕緣體或絕緣體基底的半導(dǎo)體一側(cè)的兩個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量,?;旌辖佑|測(cè)量包括單接觸測(cè)量和雙接觸測(cè)量。
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