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核心參數(shù)

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2-歐米伽法納米薄膜熱導(dǎo)測(cè)試系統(tǒng) TCN-2ω

說(shuō)明：此產(chǎn)品售前技術(shù)交流服務(wù)和售后技術(shù)服務(wù)由北京柯銳歐科技負(fù)責(zé),，確保國(guó)內(nèi)用戶享受到*專業(yè)的技術(shù)支持！

技術(shù)特點(diǎn)：

這種獨(dú)特的儀器采用熱反射法測(cè)定納米薄膜樣品的交叉平面的熱傳導(dǎo)性,；是世界上**的商品化納米薄膜裝置,。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)中,，需要測(cè)量低k絕緣膜、有機(jī)薄膜,、半導(dǎo)體薄膜的熱阻。研發(fā)絕緣薄膜和提高熱輻射,。

能夠測(cè)量形成在基板上的20至1000納米薄膜的法線方向熱導(dǎo)率

使用熱反射方法,，通過(guò)溫度振幅測(cè)量導(dǎo)熱參數(shù)

樣品制備簡(jiǎn)單

	TCN-2ω
溫度范圍	室溫
樣品尺寸	20-1000nm（厚度）（沉積10mm*20mm基板,；基板厚度0.5-1mm）
測(cè)量氣氛	真空

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