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薄膜材料無損檢測光功率熱分析儀（OPA ）
本儀器為無損檢測，并可同時檢測材料的相變溫度和熱膨脹系數(shù),。OPA 的研發(fā)成功，一舉填補了無損檢測納米級薄膜材料相變溫度和熱膨脹系數(shù)的國際性技術空白,， 能測量低至5nm的薄膜材料,。本儀器擁有多項***，具有獨立知識產(chǎn)權,。
創(chuàng)新設計
利用光干涉原理對透光材料及其配套薄膜熱膨脹系數(shù)的檢測,。
根據(jù)薄膜材料在相變前后光學性質（反射光功率）有較大差異的特性，在程序控制溫度下,，采用一束恒定光功率的激光照射樣品表面,，
并對其反射回的光功率進行檢測，確定樣品在對應溫度點下的反射光功率,，通過分析形成反射光功率與溫度的變化曲線,，確認樣品的包括晶化溫度、熔化溫度等不同結構相之間轉變的一級相變，及其他部分二級相變在內(nèi)的所有相變溫度,。
可以同時測量薄膜相變溫度和熱膨脹系數(shù)
基于三維調整的光隔離器能有效保護激光器以及調整激光通路
搭載聚焦及濾波的傳感模塊能有效提高信號的檢出率
采用高性能長壽命紅外加熱管進行加熱,，核心加熱區(qū)采用拋物反射面設計，確保對樣品進行有
效全方位的加熱
采用 PID 調節(jié)與模糊控制相結合的溫控系統(tǒng)可實現(xiàn)系統(tǒng)的高速跟隨控制
可配置 3 種不同加熱爐,，覆蓋溫度范圍 RT~1800℃
直線滾珠軸承作為組件支撐及運動導向關聯(lián)件,，確保送樣的平穩(wěn)可靠，行程限墊可有效確保導
軌的行程范圍
壓迫式彈針接觸端子確保溫度傳感器的有效接通,，同時其彈力可確保設備處于鎖緊狀態(tài)時才可
進行加熱操作等事宜,，避免誤操作。
技術參數(shù)
型號 | OPA-300 | OPA-1200 | OPA-1800 |
溫度范圍 | RT~300 ℃ | RT~1200 ℃ | RT~1800 ℃ |
程序升溫重復性偏差： | ＜1.0% | ||
程序升溫速率偏差： | ＜10.0% | ||
相變溫度測量精密度偏差： | ＜0.5% | ||
相變溫度測量正確度偏差 | ＜0.5% | ||
熱膨脹系數(shù)測量精密度偏差 | ＜4.5% | ||
熱膨脹系數(shù)測量正確度偏差 | ＜±15% | ||
**工作功率 | 4.0KW | ||
**升溫速度 | 3000 ℃/min (50℃~1800℃,，真空氛圍) | ||
2700 ℃/min (50℃~1800℃,，N 2 氛圍) | |||
溫場一致性 | ± 2.0 ℃（1800℃，真空） | ||
± 4.5 ℃（1800℃,，N 2 ） | |||
制冷要求 | 水冷 | ||
極限真空 | 50Pa | 10Pa | 1Pa |
相變薄膜材料檢測厚度下限 | 5.0×10 -9 m | ||
熱膨脹分析**量值 | 5.0×10 -10m | ||
主機凈重 | 52Kg | ||
主機尺寸（W×H×D ） | 510mm×404mm×470mm | ||
樣品要求：
尺寸：長×寬 5 x 5~20 x20 mm2,，厚度 2.0mm（含基底）以下為宜
相變溫度測試樣品：尺寸滿足上述要求，具備光學反射平面,；
熱膨脹系數(shù)測試樣品：適用于透光材料的熱膨脹系數(shù)檢測,。具備光學反射雙平面，不具備此形
態(tài)的樣品需涂鍍處理,，待測薄膜樣品厚度≧266nm,。
應用材料
形變記憶合金材料 鐵電、壓電薄膜材料
相變存儲材料——硫系相變化合物：Ge 2 Sb 2 Te 5 高溫陶瓷薄膜
金屬薄膜材料（研究馬氏體,、奧氏體,、貝氏體等） 硬質合金薄膜材料
高溫涂層薄膜 復合薄膜材料
......
應用實例
暫無數(shù)據(jù)！
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