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ICP等離子刻蝕

NRE-4000（ICPA）全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)概述：自動(dòng)上下載片，是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺(tái)的高速刻蝕系統(tǒng),，具有高速率,、低損傷、高深寬比的刻蝕能力,?？蓪?shí)現(xiàn)范圍廣泛的刻蝕工藝，包括刻蝕III-V化合物（如GaAs,，InP,，GaN，InSb）,、II-VI化合物,、介質(zhì)材料,、玻璃、石英,、金屬,，以及硅和硅的化合物（如SiO2、Si3N4,、SiC,、SiGe）等。

NRE-4000（ICPA）全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)主要特點(diǎn)：

• 基于PC控制的立柜式百級(jí)ICP-RIE刻蝕系統(tǒng),，擁有快速的刻蝕能力,；

• 配套Lab View軟件，菜單驅(qū)動(dòng),，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù),；

• 觸摸屏監(jiān)控；

• 全自動(dòng)系統(tǒng),，帶安全聯(lián)鎖,；

• 四級(jí)權(quán)限，帶密碼保護(hù),；

• 自動(dòng)上下載片,；

• 帶Load Lock預(yù)真空鎖；

• 可以支持ICP和RIE兩種刻蝕模式,；

• 實(shí)時(shí)顯示真空,、功率、反射功率圖表,，以及流量實(shí)時(shí)顯示,；

NRE-4000（ICPA）全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)配置內(nèi)容：

• 外觀尺寸：緊湊型立柜式設(shè)計(jì)，不銹鋼腔體,，外觀尺寸為44”(W) x 26”(L) x62”(H),；

• 等離子源：NM-ICP平面電感耦合等離子體源，帶有自動(dòng)調(diào)諧器,，激活面積可以達(dá)到8”,；

• 處理腔體：13”的圓柱形超凈腔體，材質(zhì)為陽(yáng)極電鍍鋁,。晶片通過(guò)氣動(dòng)頂蓋裝載,，腔體帶有上載安全鎖，用戶可以通過(guò)PC控制,，**可支持的晶圓尺寸為6”,。腔體帶有2”的觀察窗口。腔體頂部的噴嘴式氣流分配裝置，提供8”區(qū)域的氣體均勻分布,。系統(tǒng)帶暗區(qū)保護(hù),。

• 樣品臺(tái)：6”的托盤(pán)夾具，能夠支持6”的Wafer,?？梢灾С掷鋮s功能，包含氣動(dòng)截止閥,；

• 流量控制：支持6個(gè)或更多的MFC’s 用于ICP高速刻蝕，帶氣動(dòng)截止閥,，所有的慢/快通道采用電磁閥和氣動(dòng)閥控制,，電拋光的不銹鋼氣體管路帶有VCR和VCO(壓控振蕩器)配件，所有導(dǎo)管以盡可能短的導(dǎo)軌密封設(shè)計(jì),，從而減低空間浪費(fèi)并達(dá)到快速的氣路切換,。所有處理氣體的管路在處理結(jié)束后，采用N2自動(dòng)沖洗,。

• 真空系統(tǒng)：泵組包含渦輪分子泵和旋葉真空泵,。

• RF電源：13.56MHz，帶自動(dòng)調(diào)諧功能的1200W射頻電源,，作為ICP源,。另外，帶自動(dòng)調(diào)諧功能的600W射頻電源用于基臺(tái)偏壓,。

• 操作控制：整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)預(yù)裝的Lab View軟件和觸摸監(jiān)控系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)PC全自動(dòng)控制。MFC,，閥和頂蓋都是氣動(dòng)式的,，都可PC控制。系統(tǒng)的實(shí)時(shí)壓力和直流自偏壓以圖表格式顯示,，而流量和功率則以字母數(shù)字形式顯示,。系統(tǒng)提供密碼和安全連鎖機(jī)制的四級(jí)權(quán)限控制。

NRE-4000（ICPA）全自動(dòng)ICP刻蝕系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域：

• LED

• MEMS

• 光柵

• 激光器

• 微光學(xué)

• 聲光器件

• 高頻器件/功率器件

• 量子器件

• 光子晶體

• 探測(cè)器等