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DRIE深反應(yīng)離子刻蝕
NDR-4000（M）DRIE深反應(yīng)離子刻蝕概述：是帶低溫晶圓片冷卻和偏壓樣品臺的深硅刻蝕系統(tǒng),，帶8" ICP源。系統(tǒng)可以配套500L/S抽速的渦輪分子泵,，可以使得工藝壓力達(dá)到幾mTorr的水平,。在低溫刻蝕的技術(shù)下，系統(tǒng)可以達(dá)到硅片的高深寬比刻蝕,。
NDR-4000（M）DRIE深反應(yīng)離子刻蝕主要特點(diǎn)：
基于PC控制的緊湊型立柜式百級DRIE深硅刻蝕系統(tǒng),，擁有高縱橫比的刻蝕能力；
配套Lab View軟件,，菜單驅(qū)動,，自動記錄數(shù)據(jù)；
觸摸屏監(jiān)控,；
全自動系統(tǒng),，帶安全聯(lián)鎖；
四級權(quán)限，帶密碼保護(hù),；
手動上下載片,；
He氣背面冷卻，-60攝氏度的低溫樣品夾具,；
高達(dá)-1000V的外部偏壓,；
渦輪分子泵 + 渦旋干泵；
可以支持DRIE和RIE兩種刻蝕模式,；
實(shí)時(shí)顯示真空,、功率、反射功率圖表,，以及流量實(shí)時(shí)顯示,；
NDR-4000（M）DRIE深反應(yīng)離子刻蝕配置內(nèi)容：
外觀尺寸：緊湊型立柜式設(shè)計(jì)，不銹鋼腔體,，外觀尺寸為44”(W) x 26”(L) x62”(H),；
等離子源：NM ICP平面等離子源，帶淋浴頭氣體分布系統(tǒng),。等離子源安裝在腔體頂部,，通過ISO250的法蘭連接；
處理腔體：13”的圓柱形超凈腔體,，材質(zhì)為陽極電鍍鋁,。晶片通過氣動頂蓋裝載，腔體帶有上載安全鎖,，用戶可以通過PC控制，*多可以裝載8個(gè)小尺寸基片,，**可支持的晶圓尺寸為8”,。腔體帶有2”的觀察窗口。腔體頂部的噴嘴式氣流分配裝置,，提供8”區(qū)域的氣體均勻分布,。系統(tǒng)帶暗區(qū)保護(hù)。
樣品臺：6”的托盤夾具,，能夠支持6”的Wafer,。可以冷卻到-120攝氏度（包含LN2循環(huán)水冷系統(tǒng)）,，并采用He氣實(shí)現(xiàn)背部冷卻和自動鎖緊,，微精細(xì)地控制He氣流量，包含氣動截止閥,；
流量控制：支持5個(gè)或更多的MFC’s 用于硅的深度刻蝕,，帶氣動截止閥，所有的慢/快通道采用電磁閥和氣動閥控制,，電拋光的不銹鋼氣體管路帶有VCR和VCO(壓控振蕩器)配件,，所有導(dǎo)管以盡可能短的導(dǎo)軌密封設(shè)計(jì),，從而減低空間浪費(fèi)并達(dá)到快速的氣路切換。所有處理氣體的管路在處理結(jié)束后,，采用N2自動沖洗,。
真空系統(tǒng)：泵組包含渦輪分子泵和旋葉真空泵。
RF電源：13.56MHz,，帶自動調(diào)諧功能的1000W射頻電源,，作為ICP源。另外,，帶自動調(diào)諧功能的600W射頻電源用于基臺偏壓,。
操作控制：整個(gè)系統(tǒng)通過預(yù)裝的Lab View軟件和觸摸監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)PC全自動控制,。MFC,，閥和頂蓋都是氣動式的，都可PC控制,。系統(tǒng)的實(shí)時(shí)壓力和直流自偏壓以圖表格式顯示,，而流量和功率則以字母數(shù)字形式顯示。系統(tǒng)提供密碼和安全連鎖機(jī)制的四級權(quán)限控制,。
暫無數(shù)據(jù),！
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