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Autosamdri-815B,， Series C 臨界點(diǎn)干燥儀

特點(diǎn)：

1.4”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點(diǎn)干燥儀；

2.內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),，使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C,；

3.Post-Purge 過濾器容易更換及維護(hù)；

4.內(nèi)置SOTER^TM冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,。

5.獨(dú)特的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到3”，2”,，1.25”,，使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到**化;

6.可以一次干燥5片直徑為4”的圓晶，更換樣品架,，也可以一次干燥5片直徑3”、2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）,；

7.內(nèi)腔有照明燈,，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài),；

8.通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性,；

9.所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮,；

10.可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性,；

11.集成自動(dòng)控溫；

12.內(nèi)置圓盤裂片保證安全,；

13.靜態(tài)壓力控制模塊,，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；

14.0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室,；

15.每個(gè)操作模式LED顯示,，一目了然;

16.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；

17.所有電氣部件符合UL,、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn),；

規(guī)格：

1.外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；

2.安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm),；

3.樣品室尺寸：內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,，樣品室容積：326 ml;

4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi,；

5.LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門來控制,；

6.120V/50-60HZ(可選其他電壓),；

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1.高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng)；

2.外部LCO2過濾裝置,，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm）,，過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便,；

3.安裝工具,；

4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣,；

5.內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路,、晶片和閥門

6.樣品室O型圈3個(gè)，樣品室照明燈2個(gè),，3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè),；

7.3個(gè)Teflon樣品室填塊，使得樣品室直徑包括4,、3,、2和1.25英寸;

8.直徑為4、3,、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,，樣品架HF兼容；

9.流量計(jì),，可精確控制BLEED的排氣速率,；

10.用戶手冊(cè)；

11.所有部件一年質(zhì)保,。