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Automegasamdri-934,, Series C
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 新配置的專用“慢充”控制,給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動(dòng)力學(xué),,保護(hù)了大多數(shù)易脆樣品,;
◆ 外部配置了PURGE后的過(guò)濾裝置,保護(hù)樣品,,容易更換和后期維護(hù),;
◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機(jī)械攪拌,使PURGE完全而不至于破壞樣品,;
◆ 高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),,可以快速冷卻腔體溫度,縮短操作時(shí)間,;
◆ 內(nèi)置SOTER冷凝器,,分離廢棄乙醇和廢氣,消除排氣噪音,;
◆ 獨(dú)特的樣品室填塊,,可以改變樣品室直徑,減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時(shí)間,,并兼容不同尺寸晶圓處理,;
◆ 內(nèi)部過(guò)濾系統(tǒng),過(guò)濾流進(jìn)樣品室的液態(tài)二氧化碳,,過(guò)濾顆粒*低尺寸達(dá)到0.08μm,;
◆ 一次運(yùn)行可以處理5片4英寸晶圓,改變樣品室尺寸,,每次運(yùn)行也可以分別處理3英寸,、2英寸晶圓及10mm方晶;
◆ 標(biāo)配特氟龍兼容的4英寸,、3英寸,、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個(gè);
◆ 垂直樣品室,,內(nèi)腔有照明,,樣品室蓋子帶觀察窗;
◆ 明亮的LCD觸屏控制,;
◆ 內(nèi)置出廠自動(dòng)運(yùn)行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序,;
◆ 所有內(nèi)部表面適用于CO2,,丙酮和超純乙醇;
◆ 可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù),,確保結(jié)果的可重復(fù)性,;
◆ 集成自動(dòng)控溫和靜態(tài)壓力控制模塊,確保自動(dòng)安全的運(yùn)行,;
◆ 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì),;
◆ 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn),;
◆ 外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm),;
◆ 安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
◆ 樣品室尺寸:內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,,樣品室容積:326 ml;
◆ LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型計(jì)量閥門(mén)來(lái)控制,;
◆ 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
◆高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長(zhǎng),;
◆ 雙T型過(guò)濾裝置,,雙重過(guò)濾微小顆粒,過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,,安裝方便,;
◆ 安裝工具;
◆ 防靜電排氣管,,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣,;
◆ 樣品室O型圈3個(gè),樣品室LED照明燈1個(gè),,3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè),;
◆ 3個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括4,、3,、2和1.25英寸;
◆ 直徑為4、3,、2英寸晶圓樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,,樣品架HF兼容,;
◆ 用戶手冊(cè),;
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