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Automegasamdri-934,， Series C
產品特點：
◆ 新配置的專用“慢充”控制,，給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學，保護了大多數易脆樣品,；
◆ 外部配置了PURGE后的過濾裝置,，保護樣品，容易更換和后期維護,；
◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機械攪拌,，使PURGE完全而不至于破壞樣品；
◆ 高效內部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),，可以快速冷卻腔體溫度,，縮短操作時間；
◆ 內置SOTER冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣,，消除排氣噪音；
◆ 獨特的樣品室填塊,，可以改變樣品室直徑,，減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時間，并兼容不同尺寸晶圓處理,；
◆ 內部過濾系統(tǒng),，過濾流進樣品室的液態(tài)二氧化碳,，過濾顆粒*低尺寸達到0.08μm；
◆ 一次運行可以處理5片4英寸晶圓,，改變樣品室尺寸,，每次運行也可以分別處理3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶,；
◆ 標配特氟龍兼容的4英寸,、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個,；
◆ 垂直樣品室,，內腔有照明，樣品室蓋子帶觀察窗,；
◆ 明亮的LCD觸屏控制,；
◆ 內置出廠自動運行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序；
◆ 所有內部表面適用于CO2,，丙酮和超純乙醇,；
◆ 可以重復設置的參數，確保結果的可重復性,；
◆ 集成自動控溫和靜態(tài)壓力控制模塊,，確保自動安全的運行；
◆ 潔凈室和防靜電兼容設計,；
◆ 所有電氣部件符合UL,、CE和U.S.Military標準；
◆ 外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm),；
◆ 安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm),；
◆ 樣品室尺寸：內徑4.5” × 深1.25”，樣品室容積：326 ml;
◆ LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型計量閥門來控制,；
◆ 120V/50-60HZ(可選其他電壓),；
◆高壓不銹鋼LCO2管（內襯Teflon） 3 米長,；
◆ 雙T型過濾裝置,，雙重過濾微小顆粒，過濾裝置可預先與LCO2管連接,，安裝方便,；
◆ 安裝工具；
◆ 防靜電排氣管,，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣,；
◆ 樣品室O型圈3個，樣品室LED照明燈1個,，3A和8A保險絲各2個,；
◆ 3個Teflon樣品室填塊,，使得樣品室直徑包括4、3,、2和1.25英寸;
◆ 直徑為4,、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,，樣品架HF兼容,；
◆ 用戶手冊；
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