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Automegasamdri-934,， Series C
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 新配置的專用“慢充”控制，給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動(dòng)力學(xué),，保護(hù)了大多數(shù)易脆樣品,；
◆ 外部配置了PURGE后的過(guò)濾裝置，保護(hù)樣品,，容易更換和后期維護(hù),；
◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機(jī)械攪拌，使PURGE完全而不至于破壞樣品,；
◆ 高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),，可以快速冷卻腔體溫度，縮短操作時(shí)間,；
◆ 內(nèi)置SOTER冷凝器,，分離廢棄乙醇和廢氣，消除排氣噪音,；
◆ 獨(dú)特的樣品室填塊,，可以改變樣品室直徑，減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時(shí)間,，并兼容不同尺寸晶圓處理,；
◆ 內(nèi)部過(guò)濾系統(tǒng)，過(guò)濾流進(jìn)樣品室的液態(tài)二氧化碳,，過(guò)濾顆粒*低尺寸達(dá)到0.08μm,；
◆ 一次運(yùn)行可以處理5片4英寸晶圓，改變樣品室尺寸,，每次運(yùn)行也可以分別處理3英寸,、2英寸晶圓及10mm方晶；
◆ 標(biāo)配特氟龍兼容的4英寸,、3英寸,、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個(gè)；
◆ 垂直樣品室,，內(nèi)腔有照明,，樣品室蓋子帶觀察窗；
◆ 明亮的LCD觸屏控制,；
◆ 內(nèi)置出廠自動(dòng)運(yùn)行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序,；
◆ 所有內(nèi)部表面適用于CO2,，丙酮和超純乙醇；
◆ 可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù),，確保結(jié)果的可重復(fù)性,；
◆ 集成自動(dòng)控溫和靜態(tài)壓力控制模塊，確保自動(dòng)安全的運(yùn)行,；
◆ 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì),；
◆ 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn),；
◆ 外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm),；
◆ 安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
◆ 樣品室尺寸：內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,，樣品室容積：326 ml;
◆ LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型計(jì)量閥門(mén)來(lái)控制,；
◆ 120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
◆高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng),；
◆ 雙T型過(guò)濾裝置,，雙重過(guò)濾微小顆粒，過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,，安裝方便,；
◆ 安裝工具；
◆ 防靜電排氣管,，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣,；
◆ 樣品室O型圈3個(gè)，樣品室LED照明燈1個(gè),，3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè),；
◆ 3個(gè)Teflon樣品室填塊，使得樣品室直徑包括4,、3,、2和1.25英寸;
◆ 直徑為4、3,、2英寸晶圓樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,，樣品架HF兼容,；
◆ 用戶手冊(cè),；
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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