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核心參數(shù)

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◆規(guī)格

▼UTS-2000

機(jī)種	UTS-2000
測(cè)量方式	FT/IR 干渉膜厚測(cè)量法
測(cè)量配置	反射,、透過(guò)（選配）
樣品尺寸	20 × 20 ～ 1200 × 1200μm
顯示器	內(nèi)置CMOS相機(jī)確認(rèn)測(cè)量位置
●測(cè)量范圍／精度
測(cè)量膜厚范圍	0.25μm～750μm（Siの場(chǎng)合）
測(cè)量膜厚再現(xiàn)性	0.005μm以下 (同一點(diǎn)繰返し測(cè)定時(shí),、Si の場(chǎng)合)
●XY樣品臺(tái)
距離	200mm×200mm
驅(qū)動(dòng)分辨率	2μm
●數(shù)據(jù)處理部
對(duì)應(yīng)OS	Windows 7 Professional
控制裝置	JASCO光學(xué)管理器控制光學(xué)系統(tǒng)／控制XY樣品臺(tái)／控制搬送機(jī)（選配）

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