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科晶+真空CVD系統(tǒng)+ OTF-1200X-HVC
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安徽

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上海繪吉電子科技有限公司

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OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其**工作溫度可達1200℃,,極限真空度可達 to 10^-5 torr,。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,,然后導入到管式爐內(nèi)部,。

技術(shù)參數(shù)
OTF-1200X系列 管式爐殼體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60度

●內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,,同時也可以延長儀器的使用壽命

爐管

● 材質(zhì): 高純石英管

● 石英管包含在內(nèi)

● 可以選擇其他管徑

功率2.5KW
工作電壓AC 208-240V 單相,, 50/60Hz
加熱元件Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,,**程度的延長加熱元件的使用壽命)
工作溫度

● **工作溫度.: 1200°C

● 連續(xù)工作溫度: 1100°C

加熱速率加熱速率: 1~20°C/min 可編程
加熱區(qū)長度

● 總加熱區(qū)長度: 440mm

● 恒溫區(qū)長度. : 150mm (±1°C)注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標,。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),,請與我公司銷售人員聯(lián)系

控溫系統(tǒng)

● PID自動控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序

●控溫儀表操作視頻

● 控溫精度: ±1°C

● 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空密封

● 一對不銹鋼真空密封法蘭,,已經(jīng)安裝

● 法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表

● 一對精密針閥

● KF-40 的抽氣接口

功率100~110W
工作電壓AC 208-240V ,, 50/60Hz
高真空機組殼體

● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

● **承載量:600 Lbs on topf

● 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示

● 內(nèi)裝有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

抽氣速率

● N2 33 L/s

● He 39 L/s (2340L/minute)

● H2 32 L/s

工作范圍1000 mbar to <1E-7 mbar
極限<1E-8 mbar (無泄漏)
質(zhì)量流量控制器殼體

● 采用 316不銹鋼制作

● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm

● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H),, mm

功率18W
工作電源AC 208-240V,, Single phase, 50/60Hz
開門斷電

為保證使用安全,,該電爐為開門斷電設(shè)計

質(zhì)保期一年質(zhì)保期,,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件
質(zhì)量認證● CE 認證

所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證

若客戶出認證費用,,本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證

使用注意事項:

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,,建議在本公司選購減壓閥,,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時,,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),,爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,,保持在常壓狀態(tài)

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用,。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),,若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,,法蘭飛出等)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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