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殘余氣體分析儀
四極桿質(zhì)譜儀是用于在真空系統(tǒng)中評(píng)估殘余氣體成分的經(jīng)典測(cè)量?jī)x,。
質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應(yīng)的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個(gè)操作階段有用的信息,,無(wú)論是用于確定安裝后的氣密性和無(wú)污染性還是在操作真空處理時(shí)用于其特性。
根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì),,在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對(duì)檢測(cè)器的選擇,。在高真空中,通常一個(gè)法拉第檢測(cè)器就足夠了,而在高真空中檢測(cè)非常低的氣體密度時(shí),,一個(gè)二級(jí)電子倍增器是必要的,。另一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)則是待檢測(cè)的質(zhì)量范圍。
在傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)中,,大氣中的氣體,,例如氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣,、水蒸汽等,通常受到輕烴污染是重點(diǎn),。為了檢測(cè)這些氣體,,范圍在 1 至 100 原子質(zhì)量單位 (amu) 之間的四極桿質(zhì)譜儀是理想的,因?yàn)樵谠摲秶鷥?nèi)顯示了良好的質(zhì)量分離,。若較重的氣體及其組成成分也須檢測(cè)出來(lái),,如長(zhǎng)鏈烴,普發(fā)真空也為此提供了范圍在 1?200 amu 或 1?300 amu 之間的質(zhì)量過(guò)濾器,。
開(kāi)放的離子源在大多數(shù)殘余氣體分析任務(wù)中是**選擇,,因?yàn)樗鼈儗⒎€(wěn)健的設(shè)計(jì)與較高的檢測(cè)靈敏度相結(jié)合。憑借封閉或交叉束離子源,,可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務(wù),。對(duì)于超高真空范圍,也可提供具有極低釋氣率的柵網(wǎng)離子源,。
由于有大量的部件可供選擇,,且得益于普發(fā)真空四極桿質(zhì)譜儀的精確配置,質(zhì)譜儀可作為所有測(cè)量任務(wù)的**選擇,。我們的產(chǎn)品和應(yīng)用專(zhuān)家擁有多年的經(jīng)驗(yàn),,將十分樂(lè)意為您提供有關(guān)殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。
PrismaPlust四極質(zhì)譜儀:
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀,。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),,高靈敏度,高穩(wěn)定性和智慧化操作的**結(jié)合是 PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn),。在適用中客戶(hù)將感受到它堅(jiān)固,,緊湊的設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的系統(tǒng)集成,并從中受益,。
通過(guò)可選擇質(zhì)量數(shù)范圍,,檢測(cè)器、離子源和介面介面等,,該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,,例如:工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏,、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等,。PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀是從品質(zhì)保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的**方案,。
PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀可 以在三個(gè)不同的質(zhì)量數(shù)范圍(1-100,,1-200,1-300 amu)內(nèi),,下至檢測(cè)極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測(cè)結(jié)果,。在真空系統(tǒng)中,配合有效的法拉,, 第和電子倍增檢測(cè)儀,,即使很低程度的污染也可以被快速地識(shí)別出來(lái)。除顯示可選擇的分壓外,,直接增加一個(gè)壓力量規(guī),,PrismaPlusTM四極質(zhì)譜儀就可以作為一個(gè)精確的全壓監(jiān)控器使用。
Quadera 軟件不僅操作簡(jiǎn)單,,它還提供了捕獲和觀察所有測(cè)試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺(tái),。結(jié)合多種可供選擇的介面介面,例如乙太網(wǎng),,數(shù)位式和類(lèi)比式輸入輸出,,可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動(dòng)預(yù)設(shè)的功能,。
Hiquad700是一款高分辨率的四極質(zhì)譜議
質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
超過(guò)九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
極快的測(cè)量速度:0.125 ms/amu
*小可檢分壓< 10E-16 mbar
極高的分辨能力,,可以分析小分子氣體同位素
分壓比<0.3ppb
超過(guò) 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器
IO 選項(xiàng):8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出
軟件功能強(qiáng)大,靈活實(shí)用且具友好的用戶(hù)界面
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