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特點(diǎn)
共聚焦三維表面輪廓儀具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率,，附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī),， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的理想配置,。
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng) 目 簡(jiǎn) 述 | 參數(shù)說(shuō)明 |
| 共聚焦三維表面輪廓儀 | l可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤(pán)共焦技術(shù) l具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率,，附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um,，是表面特征以及形貌的測(cè)量的理想配置 l在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無(wú)限制 l應(yīng)用于透明層/薄膜 l兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC l長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選 l高穩(wěn)定性 |
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