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PCE-3等離子清洗機使用空氣,、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染,，在射頻電源的作用下,，**去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預(yù)處理,，將對生長具有顯著的作用,。
主要特點
1、使用可調(diào)射頻電源,，可以設(shè)置低,、中、高功率,。
2,、桌上型設(shè)備,，結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全,、環(huán)境友好,、低成本。
技術(shù)參數(shù)
1,、輸入電壓：110V/220V,、50Hz/60Hz （請?zhí)崆斑x定），小于100W
2,、輸出功率：13.56MHz
3,、等離子直流電源：低功率設(shè)定—680V，10mA,，6.8W,；中功率設(shè)定—700V，15mA,，10.5W,；
高功率設(shè)定—720V，25mA,，18W
4,、等離子腔室：Φ75mm×165mm，耐熱玻璃,，前蓋可拆卸
5,、通入氣體：可通入多種氣體，如N2,、Ar,、空氣、混合氣體等,，主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定
6,、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar）,，可選擇數(shù)字真空表,，針閥控制氣體流量，采用三通閥門 快速控制進氣,、密封等離子腔室,、排氣
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：200mm×250mm×210mm
重量：8kg（不含泵）
注意事項
不能使用可燃性氣體
可選配件
本司研發(fā)的電阻真空計
以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量,。
暫無數(shù)據(jù),！
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