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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：TF200薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析,。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度,。測(cè)量范圍1nm-3mm,，可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,，還可以測(cè)量n和k值,。
產(chǎn)品型號(hào) | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
主要特點(diǎn) | 快速、準(zhǔn)確,、無損,、靈活、易用,、性價(jià)比高 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體（SiO2/SiNx,、光刻膠、MEMS,，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚,、聚亞酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻膠ITO等） 觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等) 汽車(防霧層,、Hard Coating DLC等） 醫(yī)學(xué)（聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等） | |||
波長(zhǎng)范圍 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
厚度范圍 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
準(zhǔn)確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者） | 2nm | 2nm | 1nm | 10nm |
精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
樣品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
測(cè)量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
光斑尺寸（可選微光斑附件,。） | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
是否能在線 | 是 | 是 | 是 | 是 |
掃描選擇 | XY可選 | XY可選 | XY可選 | XY可選 |
暫無數(shù)據(jù)！
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