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PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù),、軟件編程技術(shù),，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染,。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物,，清洗程度可達(dá)到分子級(jí),。另外，其樣品臺(tái)可選配加熱功能,，可加負(fù)偏壓,，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,。

主要特點(diǎn)

1、采用氣體作為清洗介質(zhì),，避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染,。

2、可短時(shí)間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物,。

3,、清洗程度可達(dá)到分子級(jí),。

4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,。

5,、清洗過程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,，并可消毒和殺菌,。

6、樣品臺(tái)可選配加熱功能,，可加負(fù)偏壓,，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。

7,、廣泛應(yīng)用于光學(xué),、光電子學(xué)、電子學(xué),、材料科學(xué),、生命科學(xué)、高分子科學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1,、電壓：AC220V 10A

2,、消耗功率：<500W（包括真空泵）

3、RF電源：輸出功率100W,，輸出頻率13.56MHz

4,、腔體：Φ190mm×98mm

5、石英管：Φ180mm×55mm,，壁厚7mm

6,、內(nèi)腔：Φ165mm×55mm

7、清洗電極：Φ120mm

8,、樣品臺(tái)：Φ150mm,，有效尺寸Φ140mm

9、樣品臺(tái)與電極間距：15mm-50mm可調(diào)

10,、抽氣管：Φ12mm

11,、極限真空度：0.1Pa

12、工作真空度：60Pa-500Pa

13,、氣路數(shù)量：2路（選裝）

14,、流量控制器數(shù)量：1、2

15,、流量顯示儀：2通道

16,、氣路接口：Φ6mm

17,、加熱樣品臺(tái)：Φ140mm,，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）

18,、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

19、工作環(huán)境：溫度5℃-35℃,，濕度<80%（相對(duì)濕度）不結(jié)露,，海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

重量：20kg（不含真空泵）

可選配件

1、加熱樣品臺(tái)

2,、流量控制器（量程10,、50、100,，*多可增加2個(gè)通道）