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PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機,，等離子腔體為Φ8.5 "×12"的石英腔體,，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。本機主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備,。
主要特點
1,、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率,、清洗時間,、氣體流量、真空泵的開啟等。
2,、內部配有0-500mm/min的質量流量計,，可以精確地控制進氣流量。
技術參數
1,、電源：AC220V
2,、射頻功率：**100W，可在0-100W間調節(jié)
3,、真空泵功率：<500W
4,、總功率：<600W
5、射頻：13.56MHz
6,、等離子腔體：高純石英腔體,，外徑Φ8.5 "，內徑Φ8.2 ",，長12",，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封，法蘭設有一個
Φ60mm的觀察窗口
7,、極限真空度：50mtorr
8,、通入氣體：可通入多種氣體，如N2,、Ar,、Air、H2,、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定）
清洗及蝕刻
產品規(guī)格
尺寸：620mm×450mm×600mm
標準配件
1,、直連式雙旋真空泵（240L/min）
2,、KF25波紋管
3,、KF25手動擋板閥
可選配件
1、300W,、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗）
2,、2″-6″石英舟（盛放基片）
3、2-4通道浮子混氣系統
4,、2-4通道質子混氣系統
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