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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器,、離子束頭組成,。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件的環(huán)境下,迅速活化和清理材料(如單晶片,、光學(xué)元件,、塑料等)表面雜質(zhì)。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層,,預(yù)先進(jìn)行表面處理的**選擇,。
主要特點(diǎn)
1、高速處理物件表面,,操作簡(jiǎn)單,、安全。
2,、無(wú)需真空和腔室環(huán)境,。
3,、小巧實(shí)用、成本低,。
4,、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊,。
5,、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
1,、電源:110/220V 50/60Hz <100W
2,、輸出頻率:20-23KHz
3、離子束頭:圓頭10-12mm,,矩形頭15-18mm
4,、輸入氣壓:*小0.275MPa
5、工作氣氛:空氣,、氮?dú)?、氬氣、混合氣體,,但不要使用易燃易爆氣體
6,、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa
7、工作環(huán)境:溫度<42℃,,濕度≤40%RH
8,、工作臺(tái):自動(dòng)控制三維工作臺(tái),X,、Y軸電動(dòng)調(diào)節(jié),,Z軸手動(dòng)調(diào)節(jié)
9、真空吸盤(pán):Φ100mm
10,、X軸行程:200mm
11,、Y軸行程:100mm
12、Z軸行程:50mm
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:600mm×600mm×1250mm
重量:55kg
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