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產(chǎn)品簡介：PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（ 1%），輸出功率7.2W,、10.2W,、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。
產(chǎn)品型號 | PCE-6小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1,、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率,、真空泵的開閉,、清洗時間。 2,、時間,、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上,。 3,、設(shè)有一個三通閥，可精確控制進氣流量,，以及大氣流清洗腔體,，進氣接口為6mm卡套接口。 4,、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗,。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：AC220V 50/60Hz 2,、輸出功率：7.2W,、10.2W、29.6W 3,、真空泵功率：<500W 4,、總功率：<600W 5、射頻頻率：3.0MHz,，功率3檔可手動調(diào)節(jié) 6,、等離子腔體：高純石英腔體，?160mm×190mm,，采用鋁制折疊式法蘭進行密封,，法蘭上設(shè)有?45mm的觀 察窗 7、真空泵：240L/min,，直連式雙旋真空泵 8,、極限真空度：50mtorr 9,、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2,、Ar,、H2、O2,、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） |
清洗及蝕刻 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm,，重量：10.2kg |
可選配件 | 1、2"-6"石英舟（盛放基片） 2,、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) |
暫無數(shù)據(jù),！
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