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產(chǎn)品型號(hào)

大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用,。

1、水：不需要

2,、電：AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用,，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm,，承重300kg以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、石英管外徑為6″,、8″,、8.5″、11″

2,、采用PID控制器,，可以設(shè)置51段控溫程序。

3,、控溫精度高,，保溫效果好，溫度范圍大,，爐膛溫度均勻性高,，可通氣氛抽真空。

4,、安全可靠,，操作簡(jiǎn)單。

技術(shù)參數(shù)

1,、電源：AC 380V 50/60Hz 5KW

2,、石英管：?152mm×1000mm，?203mm×1000mm,，?216mm×1000mm,，?280mm×1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁

4,、加熱區(qū)域：900mm

5,、溫區(qū)：3個(gè)，各300mm長(zhǎng)

6,、恒溫區(qū)域：550mm

7,、溫度;≤1100℃

8,、工作溫度：1000℃

9、升溫速率：≤20℃/min

10,、推薦升溫速率：10℃/min

11,、控溫精度：±1℃

12、控溫段數(shù)：51段

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1300mm×650mm×1050mm,；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

管堵

4個(gè)

3

坩堝鉗

1把

4

熱電偶

1根

5

真空法蘭

1套

6

高溫手套

1雙

可選配件

1,、石英管

2、氧化鋁坩堝

3,、石英坩堝

4,、真空泵