Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

產(chǎn)品特點：

1、 熱塑化

2,、 紫外固化

3,、 熱壓與紫外壓印同時進行

4、 熱固化

5,、氣墊軟壓技術(shù)(ACP)

6,、Nanonex**技術(shù)

7、 **的整片基板納米壓印均勻性

8,、高通量

9,、低于10nm分辨率

10、亞1微米對準(zhǔn)精度

11,、快速工藝循環(huán)時間（小于60秒） 靈活性

12,、4″， 6″,， or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

13,、方便用戶操作

14、基于超過12年,、15代產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗的自動化壓印操作,，Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過大量實時實地驗證，質(zhì)量可靠,，性能優(yōu)越穩(wěn)定

15、全自動納米壓印

規(guī)格參數(shù)：

1,、熱塑壓印模塊

溫度范圍0～250oC

加熱速度>300oC/分鐘

制冷速度>150oC/分鐘

壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）

2,、紫外固化模塊

200W窄帶紫外光源

365納米或395納米波長可選

全自動化控制

3、對準(zhǔn)模塊

<1μm 3σ對準(zhǔn)準(zhǔn)確率

X,， Y,， Z， Theta平臺

分場光學(xué)和CCD相機

4、模版裝載功能

4″/5″/6″模版可用于標(biāo)配納米壓印

5,、系統(tǒng)

8”模板可升級

6,、基板裝載

標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

6″和8″基板可選

各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基

7、板均可壓印

獨特**保護ACP技術(shù)可限

8,、度保護基板和模板,，特別對于象磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予限度保護。