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Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500
Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

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Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

產(chǎn)品特點(diǎn):

1,、 熱塑化

2,、 紫外固化

3、 熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行

4,、 熱固化

5,、氣墊軟壓技術(shù)(ACP)

6、Nanonex**技術(shù)

7,、 **的整片基板納米壓印均勻性

8,、高通量

9、低于10nm分辨率

10,、亞1微米對(duì)準(zhǔn)精度

11,、快速工藝循環(huán)時(shí)間(小于60秒) 靈活性

12、4″,, 6″,, or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

13、方便用戶操作

14,、基于超過(guò)12年,、15代產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作,Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)大量實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證,,質(zhì)量可靠,,性能優(yōu)越穩(wěn)定

15、全自動(dòng)納米壓印

規(guī)格參數(shù):

1,、熱塑壓印模塊

溫度范圍0~250oC

加熱速度>300oC/分鐘

制冷速度>150oC/分鐘

壓力范圍0 ~ 3.8 MPa(550 psi)

2,、紫外固化模塊

200W窄帶紫外光源

365納米或395納米波長(zhǎng)可選

全自動(dòng)化控制

3、對(duì)準(zhǔn)模塊

<1μm 3σ對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)確率

X,, Y,, Z, Theta平臺(tái)

分場(chǎng)光學(xué)和CCD相機(jī)

4,、模版裝載功能

4″/5″/6″模版可用于標(biāo)配納米壓印

5,、系統(tǒng)

8”模板可升級(jí)

6、基板裝載

標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

6″和8″基板可選

各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基

7,、板均可壓印

獨(dú)特**保護(hù)ACP技術(shù)可限

8,、度保護(hù)基板和模板,特別對(duì)于象磷化銦(InP)等極易碎模板和 基板給予限度保護(hù)。

創(chuàng)新點(diǎn)

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論,!
公司動(dòng)態(tài)
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