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108Auto是一款結構緊湊的離子濺射儀，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜,。108auto離子濺射儀的樣品室直徑為120 mm,，樣品臺的高度可以任意調(diào)節(jié)，同時還帶有高效的直流磁控濺射頭和獨立的真空控制系統(tǒng),，能充分滿足客戶的多種需求,。
主要特性
自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚,，和zui佳的導電噴鍍效果,。
通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損,。
操作容易快捷,，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制,。
在自動模式下,，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,，
通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程,。
數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,，可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果,。
可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd,，,，Pt，,，Pt/Pd（Au靶為標配）,，靶材更換快速方便。
| 技術參數(shù) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶為標配,，Au:Pd,， Pt， Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mmx 0.1mm厚 |
| 樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制,，安全互鎖,，可調(diào)，zui大電流40mA,，程序化數(shù)字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管,，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
| 模擬計量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
| 厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程,，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程 |
| 控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能,，自動處理排序，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時器（0－300s）,，自動放氣 |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
暫無數(shù)據(jù),！
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