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108Auto是一款結構緊湊的離子濺射鍍膜儀,，它可以手動或者自動操作，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜,。
主要特性
自動的換氣與泄氣功能,，可以得到一致的膜厚，和**的導電噴鍍效果,。
通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,，避免樣品表面受損。
操作容易快捷,，可全自動或手動進行噴鍍操作,，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
在自動模式下,，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程,。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,，
通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程,。
可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。
數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果,。
技術參數
| 濺射系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶為標配， Au:Pd,， Pt,， Pt:Pd （選件）;大小：直徑57mm x 0.1mm厚 |
| 樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座,，高度可調范圍為50mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制,，安全互鎖，可調,，電流10,、20、30,、40mA,，程序化數字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速,，環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
| 模擬計量 | 真空： Atm - 0.001mbar |
| 厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程,，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程 |
| 控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序,，帶有“暫?！笨刂频臄底侄〞r器（5－300s），自動放氣.整個操作亦可全手動控制,。 |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 3.0 m3/小時 ,，真空度到 0.1mb所需時間30秒. |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
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