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高真空存桿儀的極限真空度為10^-6mBar,，為原位樣品臺提供高真空存放環(huán)境,，可清潔樣品臺，避免樣品臺受到污染,，尤其適用于原位樣品臺,。各路存桿間相互獨立，支持隨存隨取,，方便研究人員對不同樣品臺的切換,，觸屏控制*多可實現(xiàn)六路樣品臺單獨存取。系統(tǒng)可實現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能,。

技術(shù)參數(shù)：

1)尺寸：L*W*H=465*405*385（單位：mm）,，以實物尺寸為準(zhǔn)。

2)壓力范圍：0-1000mbar,。

3)存桿數(shù)量：四路,、六路、十二路,。

4)適用電鏡樣品臺：FEI,、JEOL、Hitachi（適配）,。

5)適用原位反應(yīng)艙芯片：自組裝鍵合一體式芯片,，加熱芯片,，納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10^-6 mBar,，工作的壓力范圍為10^-5~10^-2mBar,。

7)接口模塊含控制閥門，以在電源關(guān)閉時保持真空狀態(tài),，或在取桿時,，實現(xiàn)存桿模塊氣體通入，加速樣品臺取出過程,。

8)各路存桿相互獨立,，存或取桿時互不影響，支持隨存隨取,。