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高真空存桿儀
高真空存桿儀

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高真空存桿儀的極限真空度為10-6mBar,為原位樣品臺提供高真空存放環(huán)境,,可清潔樣品臺,,避免樣品臺受到污染,尤其適用于原位樣品臺,。各路存桿間相互獨立,,支持隨存隨取,方便研究人員對不同樣品臺的切換,,觸屏控制*多可實現(xiàn)六路樣品臺單獨存取,。系統(tǒng)可實現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。

技術參數(shù):

1)尺寸:L*W*H=465*405*385(單位:mm),,以實物尺寸為準,。

2)壓力范圍:0-1000mbar

3)存桿數(shù)量:四路,、六路,、十二路。

4)適用電鏡樣品臺:FEI,、JEOL,、Hitachi(適配)。

5)適用原位反應艙芯片:自組裝鍵合一體式芯片,,加熱芯片,,納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10-6 mBar,,工作的壓力范圍為10-5~10-2mBar,。

7)接口模塊含控制閥門,以在電源關閉時保持真空狀態(tài),,或在取桿時,,實現(xiàn)存桿模塊氣體通入,加速樣品臺取出過程,。

8)各路存桿相互獨立,,存或取桿時互不影響,支持隨存隨取,。

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