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硫化物CVD系統(tǒng)(分體式)
硫化物CVD系統(tǒng)(分體式)

參考價格

面議

型號

硫化物CVD系統(tǒng)(分體式)

品牌

翰軍

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
上海翰軍實驗設(shè)備有限公司

會員

|

第3年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1050℃
  • 額定溫度:

    -
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一,、概述

此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器,,輔助固體源蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)硫化爐,,溫度控制精確,,操作簡便。

左端配有法蘭支撐架可將預熱器和硫化爐分開使用,。右端可配氣氛微調(diào)裝置,,可以準確的反應腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)

節(jié)閥對于做低壓CVD非常實用,,重復性好;真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞,。整套系統(tǒng)可在1200℃

以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料,。

二、設(shè)備組成

HTF-1100蒸發(fā)器,,HTF-1200D雙溫區(qū)管式爐,,(蒸發(fā)器與高溫反應區(qū)采用分體式),

 三,、主要技術(shù)參數(shù)


蒸發(fā)器

 

型號:HTF-1100

工作溫度:室溫-1000℃

**溫度:1050℃

*快升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:1000W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

加熱區(qū)長度(mm):150mm 

雙溫區(qū)硫化爐 

型號:HTF-1200D

技術(shù)參數(shù):

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

**溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長度(mm):150/300mm

恒溫區(qū)長度(mm):100/120mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

配件

配真空粉塵過濾器,,DN25手動蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力,防腐型數(shù)顯真空計,,三路混氣系統(tǒng)(可選)


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10分

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