雙電測四探針測試儀

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換，在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量,，能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

RTS-9軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,。測試程序在計算機與RTS-9型雙電測四探針測試儀連接的狀態(tài)下,，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-9型雙電測四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) ：

測量范圍電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展),；   
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：10^-5～10⁵s/cm,；
電阻：10^-5～10⁵ Ω,；

可測晶片厚度≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；

恒流源電 流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表  量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)  間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤4%

測試標(biāo)準(zhǔn)采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),，通過RTS-9雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值,。儀器主機也可兼容RTS-8四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),，兩套軟件可同時使用。

軟件功能軟件可記錄,、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值,、小值,、平均值、大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。

計算機通訊接口并口，高速并行采集數(shù)據(jù),。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強光直射,；