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NanoTR / PicoTR品牌
NETZSCH(耐馳)產(chǎn)地
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| 型號: | NanoTR / PicoTR |
| 品牌: | NETZSCH(耐馳) |
| 產(chǎn)地: | 德國 |
| 產(chǎn)品別名: | 皮秒級熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀PicoTR 脈沖激光熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 |
| 檢測方法: | 熱反射法 |
產(chǎn)品介紹
熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),，可測量基片上金屬、陶瓷,、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),，如熱擴(kuò)散系數(shù)（Thermal Diffusivity）、熱導(dǎo)率（Thermal Conductivity）,、吸熱 系數(shù)（Thermal Effusivity）和界面熱阻,。
由于激光閃射時(shí)間僅為納秒（ns）量級，甚至可達(dá)到皮秒（ps）量級,，此系統(tǒng)可測量厚度低至10nm的薄膜,。同時(shí)，系統(tǒng)提供不同的測量模式,，以適應(yīng)于不同的基片情況（透明/不透明）,。
該方法符合國際標(biāo)準(zhǔn)：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù)；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法,。
1990 年,，日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所/日本國家計(jì)量院（AIST/NMIJ）發(fā)明熱反射法，測量薄膜導(dǎo)熱性能,。
2008 年,，AIST 設(shè)立 PicoTherm 公司。
2010 年,，PicoTherm 公司推出納秒級熱反射系統(tǒng) NanoTR,。
2012 年，PicoTherm 公司推出皮秒級熱反射系統(tǒng) PicoTR,。
2014 年,，PicoTherm 公司和 NETZSCH 公司建立戰(zhàn)略合作。NETZSCH 將負(fù)責(zé) PicoTherm 產(chǎn)品在全球的銷售和服務(wù),。
| RF 測量模式 | FF 測量模式 |
 |  |
| 主激光源從反面加熱薄膜,，檢測激光從正面測量薄膜的溫度升高過程，從而計(jì)算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù)。此模式適用于透明基片,。 | 主激光源從正面加熱薄膜,，檢測激光從正面測量薄膜的溫度下降過程，從而計(jì)算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù),。此模式適用于不透明基片,。 |
| 技術(shù)參數(shù) | NanoTR | PicoTR |
| 溫度范圍 | RT，RT … 300°C（選件） | RT,，RT … 500°C（選件） |
| 真空度 | N/A | 10-6 mbar（選件） |
| 測量模式 | RF/FF | RF/FF |
| 樣品尺寸 | 10x10 ... 20x20 mm | 10x10 ... 20x20 mm |
| 薄膜厚度 | RF： 金屬：1 ... 20μm 陶瓷：300nm ... 5μm 聚合物：30nm ... 2μm FF：> 1μm | RF： 金屬：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm |
| 基片厚度 | < 1mm | < 1mm |
| 熱擴(kuò)散溫升時(shí)間 | 10ns ... 10μs | 10ps ... 10ns |
| 熱擴(kuò)散系數(shù) | 0.01…1000 mm2/s | 0.01…1000 mm2/s |
| 測量精度 | 5%(RF), 10%(FF) | 5%(RF), 10%(FF) |
| 操作系統(tǒng) | Windows 7 | Windows 7 |
RF 模式下,，不同厚度 TaOx_5p（5%氧化物）薄膜的測量曲線?？梢娂词贡∧ず穸鹊椭?10nm,，仍然可以得到良好的信噪比。且不同厚度的薄膜得到的面熱擴(kuò)散時(shí)間數(shù)據(jù)符合線性關(guān)系,。
不同厚度 TaOx_5p 薄膜樣品的原始溫升信號對比
面熱擴(kuò)散時(shí)間 vs. 樣品厚度關(guān)系圖
以下兩圖分別使用 RF 與 FF 模式,，對石英基片上的 90nm 厚的 Mo 薄膜進(jìn)行了測試。兩者的測試結(jié)果完全一致,，平均值為 16.0 mm2/s,。
RF 模式測量結(jié)果
暫無數(shù)據(jù)！
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