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面議型號
BTF-1200C-S-R-PECVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽樣本
暫無金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結氣氛：
真空溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
1100℃非金屬電熱元件：
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一、主要特點
我司研制的回轉PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),，輝光均勻等效,，這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象
該款設備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學氣相沉積的反應室;加熱的同時爐管可360度旋轉,，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜，方便進出料,，傾斜角度在0~35°可調,。
此款設備現(xiàn)廣泛應用于低溫石墨烯制備實驗、粉體材料碳包覆實驗,。
二,、技術參數(shù)
加熱爐 | |
使用溫度 | ≤1200℃ |
加熱區(qū)長度 | 440mm |
恒溫區(qū)長度 | 200mm |
加熱元件 | 電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節(jié),，智能化30段可編程控制,，具有超溫和斷偶報警功能 |
爐管尺寸 | Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm |
爐管轉速 | 3~13r/min |
傾斜角度 | 0~35° |
PE源 | |
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 0-500W |
射頻輸出接口 | 50Ω，N-type,，female |
功率穩(wěn)定性 | ≤5W |
氣路系統(tǒng) | |
供氣系統(tǒng) | 高精度質量流量計（量程可選） |
準確度 | ±1.5% |
響應精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性：1~4sec,，電特性：10sec |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa |
壓力 | ≤3MPa |
連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
真空系統(tǒng) | |
真空系統(tǒng) | 采用KF25系列波紋管和手動擋板閥 |
真空度可達10-1Pa | |
數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值 | |
暫無數(shù)據(jù),！
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