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技術(shù)參數(shù)：
爐體內(nèi)腔尺寸：φ800mm×1000mm
外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm
**長晶尺寸：6英寸
籽晶軸提拉行程：450mm
提拉運動*小線速度：0.01mm/hr
快速提拉速度：200mm/min
籽晶軸轉(zhuǎn)動速度：0.1～100r/min
稱重系統(tǒng)：稱重傳感器量程20kg,；信號放大器顯示精度0.01g
控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑,，晶體形狀可隨意設(shè)計,，PID及運動參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具,。
加熱電源：中頻感應(yīng)加熱
加熱**輸出功率：30KW
真空系統(tǒng)：機械泵抽真空
水冷系統(tǒng)：爐腔,、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。
壓電晶體生長爐
產(chǎn)品簡介： 本設(shè)備是公司新研發(fā)的用于鉭酸鋰（LT）和鈮酸鋰（LN）等材料的壓電晶體生長的設(shè)備,。主要用于CZ法單晶的生產(chǎn),，全自動控制系統(tǒng)可提高晶體品質(zhì)和一致性，過程可控穩(wěn)定性高,，減少人工干預(yù),、工作強度和成本。 |
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