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20-30萬元型號
1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)品牌
中環(huán)產(chǎn)地
天津樣本
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產(chǎn)品用途:
產(chǎn)品專業(yè)性:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,,在局部形成等離子體,,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),,在基片上沉積出所期望的薄膜,。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點:
生長溫度低;沉積速率快,;成膜質(zhì)量好,,適用范圍廣,設(shè)備簡單,。
生長溫度低,;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,,適用范圍廣,,設(shè)備簡單。
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