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綜合型分析探針臺 | ||||
型號 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
外形 | 820mm長*720mm寬*890mm高 | 960mm長*850mm寬*900mm高 | 1300mm長*920mm寬*920mm高 | |
重量 | 170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
樣品臺 | 尺寸 | 6英寸,,可360度旋轉 | 8英寸,,可360度旋轉 | 12英寸,,可360度旋轉 |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
移動精度 | 1um | |||
樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
背電極測試功能 | 有,,樣品臺電學獨立懸空 | |||
針座平臺 | 規(guī)格 | U型平臺,*多可放置6個針座 | U型平臺,,*多可放置10個針座 | U型平臺,,*多可放置12個針座 |
行程&調節(jié)方式 | 平臺可以快速升降,行程 6mm,并帶自動鎖定功能;可以上下微調,,行程25mm,,升降精度1um | |||
光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm | ||
顯微鏡移動精度 | 1um | |||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | |||
放大倍數 | 20~4000X | |||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡:10X,;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配) | |||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字) | |||
點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時) | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||
應用方向 | 晶圓測試,,光電器件測試,PCB/封裝器件測試,,射頻測試,,高壓/大電流測試等 | |||
可選附件 | 卡盤快速拉出裝置 | 加熱臺 | 光強/波長測試選件 | |
顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) | 高低溫樣品臺 | 射頻測試附件 | ||
顯微鏡氣動升降裝置 | 屏蔽箱 | 有源探頭 | ||
激光微加工 | 轉接頭 | 低電流/電容測試 | ||
探針卡夾具 | 防震臺 | 兼容積分球測試選件 | ||
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | ||
液晶熱點偵測套裝 | 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 | ||
高壓/大電流測試套裝 | 樣品臺快速升降,微調升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | ||
帶真空底座的活動Chuck | 樣品臺旋轉微調選件 | 特殊定制 | ||
特點 | ||||
穩(wěn)定的結構 | 同軸絲杠傳動結構,線性移動 | |||
針座平臺可快速升降和微調,適合針卡測試 | 大手柄驅動,,操作舒適,,無回程差設計 | |||
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 | 芯片內部線路/電極/PAD測試 | |||
高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 | |||
**可用于12英寸以內樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 |
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