誤差率:
分辨率:
1%重現(xiàn)性:
儀器原理:
其他分散方式:
測(cè)量時(shí)間:
60S測(cè)量范圍:
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高溫下測(cè)試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
功能概述:overview
1. 四探針雙電組合測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合
2. 配置高溫四探針測(cè)試探針治具
3. PC軟件對(duì)數(shù)據(jù)的處理和測(cè)量控制.
4. 量程測(cè)試范圍.
應(yīng)用說明:
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求,,測(cè)控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻,,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,,及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
高溫下測(cè)試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
適用行業(yè):Applicable industry:
用于:企業(yè),、高等院校、科研部門對(duì)導(dǎo)電陶瓷,、硅,、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,、測(cè)定硅外延層,、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測(cè)量,。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法
標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。
高溫下測(cè)試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters:
規(guī)格型號(hào)Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10-5~2×105Ω/□ | 10-6~2×105Ω/□ | 10-4~1×107Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity range | 10-6~2×106Ω-cm | 10-7~2×106Ω-cm | 10-5~2×108Ω-cm |
3.測(cè)試電流范圍test current range | 0.1μA.μA.0μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA | 1A,、100mA,、10mA、1mA,、100uA,、10uA、1uA,、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.電流精度current accuracy | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
5.電阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC軟件界面 PC software interface | 顯示:電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
7.測(cè)試方式test mode | 雙電測(cè)量Double electrical measurement | ||
8.四探針儀工作電源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
9.誤差errors | ≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples) | ≤15% | |
溫度(選購(gòu))Highest temperature (choose and buy) | 常溫 Normal temperature -400℃,;600℃,;800℃;1000℃,;1200℃,;1400℃;1600℃ | ||
氣氛保護(hù)(氣體客戶自備) Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用氣體如下:氦(He),、氖(Ne),、氬(Ar)、氪(Kr),、氙(Xe),、氡(Rn),均為無色,、無臭,、氣態(tài)的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
溫度精度 Temperature precision | 沖溫值 Blunt temperature values:≤1-3℃;控溫精度 control precision:±1°C | ||
升溫速度: rate of temperature increase | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘,;800℃-1200℃需要30分鐘,;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
高溫材料 High temperature material | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,,高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
PC軟件 PC software | 測(cè)試PC軟件一套,,USB通訊接口,軟件界面同步顯示,、分析,、保存和打印數(shù)據(jù)!One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
電極材料 Electrode materials | 鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
探針間距 The probe spacing | 直線型探針,,探針中心間距:4mm,;樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
標(biāo)配外(選購(gòu)): Except standard configuration (optional) | 電腦和打印機(jī)1套;2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè),; 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
高溫電源: High temperature power | 供電:400-1200℃ 電源220V,,功率4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V,;功率9KW: Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW |
----我們一直在做:
研發(fā),、生產(chǎn)、銷售研發(fā),、生產(chǎn),、銷售、租賃,、實(shí)驗(yàn)室樣品分析及后延擴(kuò)展服
務(wù).
操作流程及步驟
1.系統(tǒng)連接:將各個(gè)部件及控制系統(tǒng),、電源及USB通訊接口接通,;
2.調(diào)通系統(tǒng)的連接是否正常,可以從PC軟件及電阻率測(cè)試儀上的數(shù)據(jù)變化看出.
3.在高溫箱體上分段設(shè)定所需要溫度,,當(dāng)然也可以不分段而設(shè)定一個(gè)溫度.具體高溫箱體儀表操作請(qǐng)查看《溫度儀表操作手冊(cè)》.
4.待樣品通過高溫夾具進(jìn)入高溫箱體.
5.開啟惰性氣體輸入閥門.
6.溫度實(shí)時(shí)上升過程中,,樣品阻值實(shí)時(shí)曲線變化.
7.帶溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí),自動(dòng)停止加熱.
8.測(cè)試完畢,,關(guān)閉高溫電源,,帶10-20分鐘后.
9.通過高溫手套,移動(dòng)夾具上升離開高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求,,測(cè)控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻,,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,,及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
智能粉體特性綜合測(cè)試儀優(yōu)勢(shì)及特點(diǎn)分析1).高精度自動(dòng)化測(cè)量技術(shù),,智能化測(cè)量系統(tǒng),采用集成電路系統(tǒng)模塊,;2).7寸觸摸屏或PC軟件兩種操作模式并存:測(cè)試過程和測(cè)試結(jié)果通過PC軟件曲線圖位表示,,并自動(dòng)生成
2020-03-05
智能粉體特性測(cè)試儀與非智能型比較優(yōu)勢(shì)分析 一、 功能對(duì)比:1.1.自動(dòng)型特點(diǎn):通過高精度自動(dòng)化測(cè)量技術(shù),,智能化測(cè)量系統(tǒng),,采用集成電路系統(tǒng)模塊;觸摸屏或者PC軟件兩種操作模式并存:測(cè)試過程和測(cè)試結(jié)果通
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