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一.   產(chǎn)品應(yīng)用  

SYSC-150系列高精度程控旋涂?jī)x（Spin Coater）,，其**轉(zhuǎn)速可達(dá)12000rpm,，**旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載條件下的真實(shí)加速度）。具有速度精度高,、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,、極好的加速度、主動(dòng)式速度調(diào)控,、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn),。可用于微電子,、半導(dǎo)體,、光電器件、新能源,、生物材料,、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。  

二.   產(chǎn)品特點(diǎn)  

1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)，具有高精度,、高穩(wěn)定性,、高可靠性。  

2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,，**旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）,。  

3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能：  

 (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),，防止勻膠過程中飛片造成人身傷害；  

 (2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,，若發(fā)生真空泄漏,，基片無法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行,。  

4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕,、不生銹,、易清潔。  

5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,，經(jīng)CNC一體加工成型,。接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部,。耐腐蝕,、易清潔。  

6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,，經(jīng)CNC一體加工成型,。耐高溫、耐腐蝕,、不變形,。  

7.     勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程*多可分十段進(jìn)行,，每段的加速時(shí)間,、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制,、連續(xù)可調(diào),。可儲(chǔ)存50組工藝程序,，隨時(shí)調(diào)用,。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程,；  

9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,，無需手動(dòng)操作。  

10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,，“預(yù)吸片時(shí)間”*多為99s,，確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜,。勻膠完成后增加解吸片步驟,，“解吸片時(shí)間”*多為99s，確保安全停止后再切斷真空,，釋放基片,，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷,。  

11.   標(biāo)配無油真空泵,，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),，防止飛片,。  

三.   技術(shù)參數(shù)  

* **旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?80mm基片)的真實(shí)加速度