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一.    產(chǎn)品應用  

SYSC-100高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為旋轉涂膜儀,，是**一代旋轉涂膜設備,。具有速度精度高、轉速穩(wěn)定,、旋轉加速度可控,、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子,、半導體,、太陽能電池、新能源,、生物材料,、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料,、光阻涂層,、生物功能涂層的制備。  

二.    產(chǎn)品特點  

1.     旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機,，具有高精度,、高穩(wěn)定性、高可靠性,。  

2.     優(yōu)異的旋轉加速性能,，**旋轉加速度可達20000rpm/s（有負載的真實加速度）。  

3.     兩項安全互鎖功能：  

 (1) 勻膠腔體具有開啟,、關閉的檢測功能,，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成人身傷害,；  

 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,，若發(fā)生真空泄漏,，基片無法吸附牢固，則立即停止運行,。  

4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,，防腐蝕、不生銹,、易清潔,。  

5.     勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型,。接儲脫離基片的膠液,，避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕,、易清潔,。  

6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型,。耐高溫,、耐腐蝕、不變形,。  

7.     勻膠過程全自動分段程序控制,。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間,、旋轉速度,、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調,。可儲存50組工藝程序,，隨時調用,。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,，更直觀了解勻膠進程,；  

9.     真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作,。  

10.    旋轉前增加預吸片步驟,，“預吸片時間”*多為99s，確?；喂涛接谛D臺后再進行旋轉涂膜,。勻膠完成后增加解吸片  

        步 驟，“解吸片時間”*多為99s,，確保安全停止后再切斷真空,，釋   放基片,，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷,。  

11.    標配無油真空泵,，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,，防止飛片,。  

三.    技術參數(shù)  

***旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.