編號(hào)：NMJS01533
篇名：微納米級(jí)表面微觀幾何形貌和粗糙度特性測(cè)量方法
作者：李成貴,； 熊昌友,；
關(guān)鍵詞：微納米表面； 表面粗糙度,； 微觀幾何形貌,； 測(cè)量方法；
機(jī)構(gòu)： 北京航空航天大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,； 中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所,；
摘要： 概述微納米級(jí)表面微觀幾何形貌和粗糙度特性的幾種測(cè)量方法和測(cè)量原理,如觸針?lè)ā⒐鈱W(xué)法,、原子力法等,并介紹市場(chǎng)上在用的幾類代表性表面形貌商用儀器(如粗糙度儀,、輪廓儀、干涉儀,、測(cè)量顯微鏡等)的特點(diǎn),、性能指標(biāo)及應(yīng)用范圍,對(duì)微納米級(jí)表面質(zhì)量測(cè)量和評(píng)價(jià)有參考價(jià)值。
