編號：NMJS01525
篇名：納米加工技術的研究進展
作者：張文毓,； 侯世忠,；
關鍵詞：納米加工技術； SPM,； 電子束光刻； 微納米加工,；
機構： 洛陽船舶材料研究所,；
摘要： 納米技術的核心是納米加工技術。文章闡述了納米加工技術的研究現(xiàn)狀,、應用和前景展望,。希望對納米加工技術有所了解。
