編號：NMJS01308
篇名：納米壓印技術與感光樹脂應用的發(fā)展
作者：劉力行; 曹瑞軍; 白龍騰; 李祥明;
關鍵詞：納米壓印; UV光固化; 感光樹脂; 電潤濕; 電毛細;
機構： 西安交通大學理學院化學系;
摘要： 納米壓印技術作為1種新興的微納制造技術,受到了學術界極大的關注。UV光固化納米壓印因其工藝加工精度高,生產(chǎn)效率高,成本低,對準性好,在納米壓印中具有無可比擬的優(yōu)勢。在其不斷發(fā)展中對核心要素之一的感光樹脂的應用也提出了新的要求與挑戰(zhàn),。本文總結了納米壓印技術及感光樹脂應用的發(fā)展,同時提出了1種新的納米壓印光刻技術,并對感光樹脂的發(fā)展提出展望,。
