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?隨著我國科學技術和新型材料等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,，高純氣體作為保護氣在超大規(guī)模集成電路,、激光材料、光導纖維,、航空航天材料等領域都有著重要的應用,。氧氣作為一種化學活性較強的物質(zhì)，其含量是檢測高純氣體質(zhì)量的重要指標,，所以控制和檢測氧氣含量的關鍵因素是高純氣體作為保護氣,。 在我國國家標準中，對高純氣體的質(zhì)量要求
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