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肇慶市宏華電子科技有限公司
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技術(shù)特點：
●磨輪直徑 Φ300mm,，**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時間＜ 5 分鐘,。選擇高功率高扭矩主軸,，可實現(xiàn)高效率,、高精度,、無損傷鏡面加工,；
●雙主軸三工位全自動減薄機,，配有在線測量儀單元（測量范圍 0-1800μm）,，精確控制減薄厚度；具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能,。配置 SMIF（選配）,，保持高清潔度的同時穩(wěn)定減薄。
性能指標：
| WG-1250自動減薄機 | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓,，實現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
| 結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 3個承片臺,1回轉(zhuǎn)工作臺 | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ6″-Φ8″) | |
| 磨輪直徑 | mm | Φ300 | |
| 主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 7.5 | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-4000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
| 承片臺 | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺類型 | - | 多孔陶瓷式（6/8寸兼容） | |
| 轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
| 承片臺數(shù)量 | 套 | 3 | |
| 承片臺清洗方式 | - | 油石手動清洗 | |
| 減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤2 |
| 片間厚度偏差 | μm | ≤±2 | |
| 表面粗糙度斤 | nm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
| 設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
| 設(shè)備重量 | kg | 4700 | |
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企業(yè)名稱
肇慶市宏華電子科技有限公司企業(yè)類型
有限責任公司（自然人投資或控股）信用代碼
91441200682437428C法人代表
梁耀國注冊地址
肇慶市端州三路8號內(nèi)H幢成立日期
2008-12-02注冊資本
1555.0623萬元人民幣有效期限
2008-12-02 至 無固定期限經(jīng)營范圍
研發(fā),、生產(chǎn),、銷售：各類電子元器件、電子專用設(shè)備,、儀器儀表,。機電產(chǎn)品、電子材料,、機械零部件的加工,、銷售。計算機技術(shù)服務(wù),。貨物進出口,、技術(shù)進出口。 （上述項目不含工商登記前置審批事項）（依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動）
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