
肇慶市宏華電子科技有限公司
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技術(shù)特點:
● 利用粗磨和精磨軌跡重合技術(shù),,顯著提高了超薄晶圓磨削加工品質(zhì)的穩(wěn)定性,,可實現(xiàn) 12 英寸晶圓厚度100μm 以下精密減??;
● 雙主軸三工位全自動減薄機,,可與單軸拋光機,、保護膜處理設(shè)備組成聯(lián)機系統(tǒng),實現(xiàn)晶圓減薄到去應(yīng)力技術(shù)的一體化,;配備自主,、優(yōu)化的 12 英寸超精密空氣主軸和氣浮載臺;具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能,。
性能指標:
WG-1240自動減薄機 | |||
磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓,,實現(xiàn)縱向/橫向切入式磨削 | ||
結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 1個承片臺 | ||
磨削尺寸 | mm | Max.?300/Max.?200(Φ8″-Φ12″) | |
主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 1 |
主軸功率 | KW | 5.5 | |
主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-6000 | |
Z軸行程 | mm | 120 | |
Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
承片臺 | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
承片臺類型 | - | 多孔陶瓷式 | |
轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
數(shù)量 | 套 | 1 | |
承片臺清洗方式 | - | 油石手動清洗 | |
承片臺Y向 | Y向加工行程 | mm | 400 |
Y向進刀速度 | mm/s | 0.01-50 | |
Y軸快速位移速度 | mm/s | 100 | |
Y軸*小分辨率 | mm | 0.001 | |
減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤4 |
片間厚度偏差 | μm | ≤±4 | |
粗磨Ring環(huán)精度 | mm | 3±0.15 | |
設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 860×1847×1741 |
設(shè)備重量 | kg | 約1700 |
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企業(yè)名稱
肇慶市宏華電子科技有限公司企業(yè)類型
有限責任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91441200682437428C法人代表
梁耀國注冊地址
肇慶市端州三路8號內(nèi)H幢成立日期
2008-12-02注冊資本
1555.0623萬元人民幣有效期限
2008-12-02 至 無固定期限經(jīng)營范圍
研發(fā),、生產(chǎn)、銷售:各類電子元器件,、電子專用設(shè)備,、儀器儀表。機電產(chǎn)品,、電子材料,、機械零部件的加工、銷售,。計算機技術(shù)服務(wù),。貨物進出口、技術(shù)進出口,。 (上述項目不含工商登記前置審批事項)(依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動)
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