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大塚電子（蘇州）有限公司 2023-02-09 點(diǎn)擊820次
1.開頭
近年來,，在平板顯示器,、包裝用薄膜、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域出現(xiàn)了各種各樣的產(chǎn)品,，特別是在這些產(chǎn)品中,，光學(xué)特性成為最重要的特性之一。
我們提供用于產(chǎn)品質(zhì)量控制的分光測量系統(tǒng),，本文介紹這些系統(tǒng),。
2.什么是分光
(1) 光特性
光具有粒子和波的特性。當(dāng)光以波表示時(shí),，波的波峰到波峰或波谷到波谷的距離稱為波長（圖1）,。我們通常看到的陽光和熒光燈包含各種波長的光,。
（圖1）
光根據(jù)波長分類如下（圖1）,。波長在380 nm和780 nm之間的光稱為可見光。顧名思義,，就是人眼可以識別的光,，從最短的波長來看是紫、靛,、藍(lán),、綠、黃,、橙,、紅。我們看到的物體的顏色是由可見光各個(gè)波長的強(qiáng)度平衡決定的,。波長小于380 nm的光稱為紫外光,，波長大于780 nm的光稱為紅外光，人眼無法察覺,。
(2) 分光的定義和分光的例子
分光是將包含各種波長的光分離成波長分量,。分光的一個(gè)例子是棱鏡（圖2）。棱鏡使用由于棱鏡內(nèi)的波長而產(chǎn)生的折射率差異來分離光,。隨著波長變短,，折射率增加，并且光彎曲的角度（折射角）增加,。由于這個(gè)折射角的不同,，光被分散了,。
(3)光譜儀
我司的光譜儀以不同于棱鏡的方式分散光（圖3）。首先,，待測光由光纖接收并引導(dǎo)至檢測器,。進(jìn)入檢測器的光照射到光柵（衍射光柵）上并分離成各個(gè)波長分量。由單行光電探測器檢測每個(gè)波長分量的光譜色散光,。
（圖3）
光柵是在其表面刻有多個(gè)凹槽的光學(xué)元件,，如果波長為λ的光以角度i入射到光柵上，它會在角度θ的方向上發(fā)生衍射,。
mλ＝d(sin i±sinθ) (m：次數(shù),、d：凹槽間距)
成立(圖3)。如果入射光和衍射光相對于衍射光柵表面的法線在同一側(cè),，則符號為正,，如果它們在不同側(cè)，則符號為負(fù),。光柵的分光利用光的波長引起的衍射角的差異,。
(4) 從分光計(jì)測可以獲取的信息
以下是通過分光測量可以獲取信息的說明。
1.分光透過率通過測量物體被光照射時(shí)通過物體的光量,，可以知道物體的透射波長特性,。
2.分光反射率通過測量物體受光照射時(shí)物體表面反射的光，可以知道材料的反射波長特性,。
3.膜厚當(dāng)用光照射涂有薄膜的基板時(shí),，薄膜表面的反射光（R1）和薄膜/基板界面的反射光（R2）（圖4）。此時(shí),，當(dāng)R1和R2的波峰重疊時(shí),，光線相互加強(qiáng)。
另一方面,，當(dāng) R1 和 R2 的波峰和波谷重疊時(shí),，光被抵消了。結(jié)果,，光譜反射率隨波長變化并形成波,。這樣的波形稱為干涉波形。這種干涉波形的形狀取決于材料的折射率和薄膜的膜厚,，呈現(xiàn)出獨(dú)特的波形,。因此，如果材料的折射率已知,，則可以測量薄膜的膜厚,。
（圖4）
4. 偏光（極化、延遲）
自然光,，如陽光或燈光,，會在不同的方向上振蕩,。偏光子是一種光學(xué)元件，它可以從沿各個(gè)方向振蕩的光中僅提取沿特定方向振蕩的光,。
通過使用偏光子,，可以測量相位差膜的相位差（圖5）,。
（圖5）
相位差膜是在x軸方向和y軸方向具有不同折射率的膜,，導(dǎo)致膜中在x軸和y軸上振動(dòng)的波的速度不同。結(jié)果,，使在進(jìn)入膠片之前對齊的光產(chǎn)生異相,。這種異相偏差稱為相位差（δ）。
δ＝2πΔnd/λ (Δn：折射率差,、d：薄膜的厚度)
成立,。折射率差(Δn)與膜厚(d)的乘積(Δnd)稱為相位差，因?yàn)棣有波長分布,，所以相位差也有波長分布,。
通過將入射光和透射光的偏振器布置成它們的透射軸垂直，并在它們之間放置相位膜來進(jìn)行相位差（延遲）測量,。透射光偏光子在透射軸方向上的強(qiáng)度根據(jù)薄膜的相位延遲而變化,。由于相位差（延遲）的大小由光的波長、折射率的差異和薄膜的厚度決定,，因此可以從光譜透射率的測量結(jié)果中測量相位延遲,。
5.物體色 (透過色、反射色)
根據(jù)分光透射率或分光反射率光譜數(shù)據(jù),，通過使用基于JIS標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)算方法以數(shù)值方式表示顏色,，可以知道物體的透射或反射顏色。一個(gè)例子是 Y,x,y 顏色系統(tǒng)（圖 6）,。Y值表示亮度,，x和y值表示顏色。
（圖6）
3.分光計(jì)測光學(xué)系
有幾種類型的光學(xué)系統(tǒng)用于分光計(jì)測,。此處介紹這些光學(xué)系統(tǒng)（圖7）,。
（圖7）
(1) 透過率計(jì)測
用于透射率測量的光學(xué)系統(tǒng)，是將樣品放在發(fā)光光纖和光接收光纖之間進(jìn)行測量的系統(tǒng),。另一個(gè)系統(tǒng),，使用積分球來測量透過樣品的所有光。積分球是內(nèi)表面涂有高反射和漫射材料（如硫酸鋇）的球體,。
(2) 反射率（膜厚）計(jì)測
用于反射率測量的光學(xué)系統(tǒng),，使用集成了投光光纖和光接收光纖的Y型光纖，將光垂直入射樣品表面并測量垂直反射的光,。其中,，有將樣品放置在樣品臺上,，待測面朝下，從下方照射光線的類型,，還有一種將樣品放置在待測面朝上,，光線照射的類型。從上方照射,。另外,，還有改變角度進(jìn)行測量的系統(tǒng)。通過改變照射角度和測量角度進(jìn)行測量,，可以知道樣品反射率的角度依賴性,。
4.inline在線分光計(jì)測系統(tǒng)
我們提供使用光譜儀的在線分光測量系統(tǒng)。以下是單體型,、走查型和光纖開關(guān)型的介紹,。
(1) 單體型（圖8）
（圖8）
單體型是不使用光纖開關(guān)或走查裝置的測量系統(tǒng)，例如透過單點(diǎn)測量系統(tǒng)和使用兩個(gè)光源并使用快門機(jī)構(gòu)在測量點(diǎn)之間切換的反射測量系統(tǒng),。根據(jù)組合,，各種測量系統(tǒng)都是可能的。
(2) 走查型（圖9）
（圖9）
在走查型中,，將兩個(gè)導(dǎo)軌裝置上下配置進(jìn)行透射率測量,，并安裝投光光纖和接收光纖。積分球可以安裝在光接收側(cè),。另一方面,，對于反射率測量，一根Y型光纖放置在一個(gè)導(dǎo)軌裝置上,。沿樣品寬度移動(dòng)并在任意點(diǎn)進(jìn)行測量,。
走查型可任意設(shè)定測量位置和測量點(diǎn)數(shù)，可自由進(jìn)行測量,。此外,，光強(qiáng)強(qiáng)，測量時(shí)間短,。
(3) 光纖開關(guān)型 (圖10)
（圖10）
在光纖開關(guān)型中,，來自光源的光由多分支光纖分束。在透射率測量的情況下,，樣品被來自投光光纖的光照射,，透射光被面對它的接收光纖接收。積分球也可以安裝在光接收側(cè),。透射光進(jìn)入光纖開關(guān),，被檢測器檢測到。另一方面,，在反射率測量中,，Y 型光纖用于照射樣品并接收來自樣品的反射光,。接收到的光進(jìn)入光纖開關(guān)，并被檢測器檢測到,。在任何一種情況下,，都可以通過使用光纖開關(guān)更改要測量的點(diǎn)來測量多個(gè)點(diǎn)。
光纖開關(guān)型無可動(dòng)部位,，因此可用于真空腔內(nèi)測量,。它還具有節(jié)省空間的優(yōu)點(diǎn)，可以安裝在各種不同的位置,。
5.計(jì)測例
通過組合系統(tǒng)（單機(jī),、走查,、光纖開關(guān)）,、測量方法（透射、反射）和測量項(xiàng)目（透射率,、反射率,、膜厚、相位延遲,、顏色等）,，可以組成各種測量系統(tǒng)進(jìn)行在線分光測量。以下是一些測量系統(tǒng)示例介紹,。
(1) 單體型：1點(diǎn)反射型
該系統(tǒng)由探測器,、光源、PC,、不間斷電源等組成,，這些設(shè)備被安置在一個(gè)收納柜里。測量項(xiàng)目包括指定點(diǎn)的反射率（光譜,、數(shù)字值,、趨勢）和膜厚（數(shù)字值、趨勢）等,。
(2) 單體型：相位延遲3點(diǎn)計(jì)測型（圖11）
（圖11）
相位延遲3點(diǎn)測量型由檢測器,、帶快門的光源、PC,、偏光光學(xué)系統(tǒng)等組成,，PC以外的所有部件都存放在收納柜里。有3個(gè)測量點(diǎn),，通過用快門控制三個(gè)光源對每個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測量,。此外，由于偏光棱鏡是可拆卸的,，因此通常的透射率測量也是可能的,。測量項(xiàng)目包括透射率（光譜,、最大值和最小值及其波長數(shù)字值和趨勢）、相位延遲數(shù)字值,。
除了本次介紹的系統(tǒng)外,，還有采用光子晶體偏振器陣列CCD模塊的在線延遲測量系統(tǒng)RE-100（圖12）。該系統(tǒng)可以同時(shí)高速測量小延遲樣品的延遲和主軸取向,。相位差片（相位差,、主軸方位角）、偏光片（透射軸角）等是測量對象,。
（圖12）
(3) 走查型：透過型
走查型系統(tǒng)由檢測器,、光源、PC,、導(dǎo)軌系統(tǒng)等構(gòu)成,。導(dǎo)軌系統(tǒng)以外的設(shè)備被收納在收納柜里。測量點(diǎn)可任意設(shè)置,，測量項(xiàng)目包括透射率（光譜,、數(shù)字值、趨勢）,、透射顏色（數(shù)字值,、趨勢）等。
(4) 光纖開關(guān)型：3點(diǎn)反射型 (圖13)
（圖13）
光纖開關(guān)型系統(tǒng)由檢測器,、光纖開關(guān),、光源,、PC等組成,，設(shè)備收納在收納柜中。這是一個(gè)3點(diǎn)測量的示例,。光纖從光源直接進(jìn)入切換器,，用于檢查光源的光強(qiáng)變化,。測量項(xiàng)目包括反射率（光譜、數(shù)字值,、趨勢）,、膜厚（數(shù)字值、趨勢）,、反射顏色（數(shù)字值,、趨勢）等。
迄今為止介紹的系統(tǒng)測量的樣品包括AR（減反射）膜,、LR（低反射）膜,、偏光膜、延遲膜、封裝膜,、玻璃基板上的涂膜等,。
(5) 計(jì)測軟件
作為測量軟件的示例，我們介紹了使用切換器類型的AR膜的3點(diǎn)膜厚度測量屏幕（圖14）,。測量畫面由反射光譜,、膜厚/指定波長的反射數(shù)值、趨勢圖等組成,。每個(gè)屏幕的布局和大小都可以自由更改,。
我們?yōu)槊靠顪y量系統(tǒng)定制了軟件，可以與系統(tǒng)一起提供滿足客戶要求的計(jì)測軟件,。
（圖14）
6.結(jié)語
分光測量對于控制薄膜和玻璃的光學(xué)特性是必不可少的,，本文介紹的測量系統(tǒng)是有效的。通過提供在線分光測量系統(tǒng),，我們希望為質(zhì)量控制和產(chǎn)量提高做出貢獻(xiàn),，并滿足新的需求。
如您需要進(jìn)一步了解,，歡迎致電與我們?nèi)〉寐?lián)絡(luò),。