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湖南頂立科技股份有限公司
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湖南頂立科技股份有限公司
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臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）
產(chǎn)品描述：
臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座,、晶體爐高溫耐材,、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝,、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù),，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動(dòng)范圍?。?/span>
全密閉沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路,，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角，沉積效果好,；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低,；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS,。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,，不作為驗(yàn)收依據(jù),，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門,；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器,、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊(cè)地址
中國(guó)（湖南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)長(zhǎng)沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地（長(zhǎng)龍街道）涼塘東路1271號(hào)成立日期
2006-05-25注冊(cè)資本
3989.2752萬(wàn)人民幣有效期限
2006-05-25 至 無(wú)固定期限
經(jīng)營(yíng)范圍
許可項(xiàng)目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn),；第三類醫(yī)療器械生產(chǎn),；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng),，具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：新材料技術(shù)研發(fā),；新材料技術(shù)推廣服務(wù)；技術(shù)服務(wù),、技術(shù)開發(fā),、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流,、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù),；3D打印服務(wù),；3D打印基礎(chǔ)材料銷售；增材制造,；石墨及碳素制品制造,；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）,；高性能纖維及復(fù)合材料制造,；高性能纖維及復(fù)合材料銷售；金屬材料制造,；非金屬礦物制品制造,；非金屬礦及制品銷售；金屬基復(fù)合材料和陶瓷基復(fù)合材料銷售,；鍛件及粉末冶金制品制造,；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工,；機(jī)械電氣設(shè)備制造,；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；機(jī)械設(shè)備銷售,；機(jī)械設(shè)備租賃,；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）,；冶金專用設(shè)備制造,；冶金專用設(shè)備銷售；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造,；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備銷售,；泵及真空設(shè)備制造,；泵及真空設(shè)備銷售；智能基礎(chǔ)制造裝備制造；智能基礎(chǔ)制造裝備銷售,；烘爐,、熔爐及電爐制造；烘爐,、熔爐及電爐銷售,；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售,；非居住房地產(chǎn)租賃,；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口,；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）。
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